采用mems技术高选择性、电子调谐式低温滤波器 highly-selective electronically-tunable cryogenic filters using monolithic, discretely-switchable mems capacitor arrays.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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采用mems技术高选择性、电子调谐式低温滤波器 highly-selective electronically-tunable cryogenic filters using monolithic, discretely-switchable mems capacitor arrays.pdf

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采用mems技术高选择性、电子调谐式低温滤波器 highly-selective electronically-tunable cryogenic filters using monolithic, discretely-switchable mems capacitor arrays

EEPPEE 电子工业专用设备电子工业专用设备 EEqquuiippmmeenntt ffoorr EElleeccttrroonniicc PPrroodduuaaccttss MMaannuuffaaccttuurriinngg 设备制造与研究新技术研究采用MEMS技术高选择性电子调谐式低温滤波器 Eriv M.Prophet, Jurgen Musolf, Betty F.Zuck, Silverio Jimenez, Kenneth E.Kihlstrom, Balam A.Willemsen 王和军译 (Superconductor Technologies Inc., Santa Barbara, CA 93111 USA) 摘要描述了一种使用HTS/Au MEMS开关电容器阵的低插损电子调谐式滤波器同步将每个谐振器的电容值以相同变化量变化,两极滤波器就得到调谐单极谐振器间的 K系数得到了证明在77K平均Q值为7000时的总调谐范围大约为25% 关键词低温电子滤波器微电机器件可调谐电路和器件 + 中图分类号 TN713.92文献标识码 A 文章编号 1004-4507(2006)04-0045-06 Highly-Selective Electronically-Tunable Cryogenic Filters Using Monolithic, Discretely-Svitchable MEMS Capacitor Arrays Eriv M.Prophet, Jurgen Musolf, Betty F.Zuck, Silverio Jimenez, Kenneth E. Kihlstrom, Balam A.Willemsen (Superconductor Technologies Inc., Santa Barbara, CA 93111 USA) Abstract: A low loss electronically tunable filter was demonstrated using HTS/Au MEMS switched capacitor arrays.The two-pole filter was tuned by simultaneously varying the capacitance of each resonator by equal amounts.A K factor of between3,500and 5,000 was demonstrated for single pole resonators. The total tuning range was about 25% with an average Q of 7,000 at 77 K. Keywords: Cryogenic electronics, Filters, Microelectro-mechanical devives, Circuits and devices. 1 引言以适合于其后对其进行单片处理(如采用MEMS技术) 该研究的目的是为了证实MEMS技术与HTS 带有高温超导体(HTS)的微电子机械系统处理和运行条件的兼容性确定在一个HTS电路上 MEMS的使用使新类型高选择性可调谐滤波使用何种常规金属MEMS才能调谐一个多极滤波器得以实现 HTS微带滤波器一般为平面型所器以及常规金属MEMS降低原来所有HTS谐振收稿日期 2006-2-12 作者简介