超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料机理的耦合理论模型-光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ ５ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．５ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ ５ Ｍａ ２００９ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料机理的耦合理论模型 ， ａ ａ ａ ａｂ 林晓辉 ，孙元征 ，杨决宽 ，陈云飞 （东南大学 机械工程学院设计工程系； 教育部重点实验室，南京 ） ａ． ｂ．ＭＥＭＳ ２１００９６ 摘 要：基于电子能带理论，以动力论的 ＿ 方程为基础，从微观层次对超短脉冲激光 ＦｏｋｋｅｒＰｌａｎｃｋ 　 烧蚀绝缘体材料的机理进行分析研究 源项中分别考虑了雪崩电离、多光子电离机制，并考虑了电 ． 子能量与散射机制对电子弛豫时间的影响 建立了绝缘体烧蚀机理的耦合数学模型，其计算的激光 ． 烧蚀临界能量密度阀值与实验结果很好的吻合 定量描述了超短脉冲激光对绝缘体材料烧蚀微观 ． 过程的影响． 关键词：超短脉冲激光；雪崩电离；多光子电离；烧蚀损伤 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ２４９ Ａ １００４４２１３２００９０５１０２９６ 　　　　 　　　　 ０ 引言 态场粒子的相互作用过程，并结合 ＦｏｋｋｅｒＰｌａｎｃｋ 　 方程建立自由电子弛豫时间与其分布函数相耦合的 超短脉冲激光的脉宽时间可达飞秒（ －１５ ）量 １０ ｓ 飞秒脉冲激光辐射氟化钙的烧蚀理论模型，并提出 级，单脉冲能量能从几个纳焦耳放大至几百毫焦耳、 求解该耦合模型的数值迭代算法 在此基础上深入 ． ２ 甚至焦耳量级，脉冲的峰值功率可达 ／ 或 ＧＷ ｃｍ 讨论和分析超短脉冲激光烧蚀半导体材料的机理以 ２ ／ 因此超短脉冲激光可用于加工金属、导 ＴＷ ｃｍ． 及激光参量对烧蚀的影响． 体、半导体及非金属材料，且具有许多优点：加工准 确度高，对材料热损伤小，加工出的材料熔融区