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2017-08-11 发布于天津
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第4 页§4-5 压电式传感器

机电工程学院：刘正平第*页 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器压电式传感器是利用某些物质的压电效应来工作的。一、压电效应定义：某些物质，如石英、钛酸钡、锆钛酸铅等，当受到外力作用时，不仅几何尺寸发生变化，而且内部极化，表面上有电荷出现，形成电场；当外力消失时，材料重新回复到原来状态，这种现象称为压电效应。相反，如果将这些物质置于电场中，其几何尺寸也会发生变化，这种由于外电场作用导致物质的机械变形的现象，称为逆压电效应，或称为电致伸缩效应。具有压电效应的材料称为压电材料。石英是常用的一种压电材料。 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器石英（SiO2)晶体的形状为六角形晶柱（图3-31a），截去两头后则为一六棱柱（图b）。 z-z称为光轴； y-y称为机械轴； x-x称为电轴。从晶体中按一定规则切下一个平行六面体（长方体），做为压电式传感器的敏感元件。下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器当对切下的晶体施加外力时，将沿x-x轴（电轴）方向形成电场，其电荷分布在垂直于x-x轴的平面上，电荷量的大小与外力成正比。 q=dc F 下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器二、压电材料分三大类： (P74~P75；P91~92) 压电单晶压电陶瓷（属多晶体）有机压电薄膜下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器三、压电式传感器及其等效电路在压电晶片的两个工作面（垂直于x-x轴）上进行金属蒸镀，形成金属膜，构成两个电极。当晶片受到外力作用时，在两个极板上积聚数量相等，而极性相反的电荷，形成电场。因此，压电式传感器可以看作是电荷发生器，同时也是一个电容器。下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器当F不变时，若极板上的q 无内部泄漏，且电路外载无穷大时，则 q保持。但实际上电路外载不可能无穷大，故当F不变时，极板上的电荷量会逐渐减少（按指数规律衰减）。进行动态测量且F的变化频率较高时，漏电量相对较小。故压电式传感器适宜于作动态测量。用它作静态测量或准静态测量时，必须采用极高阻抗的负载。下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器实际测量中，往往用两个或两个以上的晶片进行串接或并接。并接时，C大，q 大，时间常数大，宜测缓变信号，适宜于以电荷量输出的场合。串接时，电容小，输出电压大，适宜于以电压作为输出信号。下一节下一页上一节上一页目录 + 并联 + 串联 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器压电式传感器是一个具有一定电容Ca 的电荷源，其等效电路如图所示。其中，Cc —电缆电容，R0—后续电路的输入阻抗和传感器中的漏电阻形成的等效电阻。当外力为正弦力F0sinωt，且考虑负载影响时，有（电荷平衡方程）：下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器经推导，可得电容上的电压值为：此式表明压电元件的电压输出受回路的时间常数CR0的影响，在动态测量中，为建立一定的输出电压并为了不失真测试，压电式传感器的测量电路必须有高输入阻抗，并在输入端并联一定的电容Ci 以加大时间常数CR0 。下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器四、测量电路压电式传感器的输出是很微弱的电荷，加上本身内阻很大，故输出能量甚微，因此通常把传感器信号先输出到高输入阻抗的前置放大器，经过阻抗变换后，方可用一般的放大、检波电路将信号输出给指示仪表或记录器。下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器前置放大器的作用：将传感器的高阻抗输出变为低阻抗输出放大传感器输出的微弱信号。前置放大器电路的形式：电阻反馈式电压放大器，其输出电压与传感器的输出电压成正比。电容反馈式电荷放大器，其输出电压与传感器的输出电荷成正比，并与电缆对地电容无关，可用较长的连接电缆，而用电压放大器则不然。下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器五、压电式传感器的应用测力、压力、振动的加速度声学（包括超声）和声发射等测量压电式传感器一般用于动态测量，工作频率范围较广(1~106Hz)。下一节下一页上一节上一页目录 * 机电工程学院：刘正平 §4-5 压电式传感器外壳压紧质块压