外差激光干涉仪面向现场的激光测振系统简介本系统应用迈克尔逊.PDF

北京中科紫玉光电技术有限公司 外差激光干涉仪（面向现场的激光测振系统）简介 本系统应用迈克尔逊干涉仪的工作原理，采用正交信号的方式， 直接由计量学的基本量——长度（激光的波长）和时间（数采设备的 时钟）──绝对复现振动位移，是校准方法完善、校准结果可靠的先 进方法，能够在最大 5m/s 速度范围内对运动目标的运动参数进行非 接触精确测量，同时还具有相位特性校准功能，具有体积小、精度高、 非接触测量、操作简便、安装灵活、可靠性好、频率响应范围大、动 态范围宽，被测物体动态特性不受影响等优点，已经在一中心超低频 大振幅振动台上建立起完善、稳定的一次快速校准系统。 一、 主要应用： 1．可与振动台组成完善的振动校准系统，直接校准现场工作用 传感器。 2．现场直接对运动目标位移、速度和加速度量值进行校准。 二、 技术指标 测定距离： 0 ～5000mm 测量速度范围：±10m/s 速度测量不确定度：1% （k=2 ） 三、 外差激光干涉仪的工作原理 外差激光干涉仪采用目前已经成熟的迈克耳逊激光干涉原理，原 理图如图 1 所示。其原理是光束由氦-氖激光器出射，经偏振分光棱 镜 1 分成两路振动方向互相垂直的两束光，参考光经过直角棱镜、布 重 点 实 验 室 K e y L a b 通信地址：北京市海淀区上地佳园 23 号楼 706 室 北京中科紫玉光电技术有限公司 啦格盒进入偏振分光棱镜 3；另一路测量臂光经过偏振分光棱镜 2 、 四分之一波片投射在被测物体上；被反射后再通过偏振分光棱镜 2 ， 与参考光在偏振分光棱镜 3 处重合，出射后经偏振片由光电探测器接 受。 偏振分 偏振分 激光器 光棱镜1 光棱镜2 λ/4 被测物体 物光 参考光 Bragg 盒 直角棱镜 偏振分 光棱镜3 偏振片 光电探测器 图 1 外差激光干涉仪工作原理 激光器发出的光经分束镜分光后分别入射到测量表面和参考镜 表面，其两束反射光在分束镜上重新汇合发生干涉，并被光电探测器 接收。 四、 外差激光测振系统组成 工 作 数采设备 台 面 电源控制器 v 图2 外差激光测振系统工作框图 该系统主要由外差激光干涉仪、支架、电源控制器、数采设备和 软件解调系统组成。电源控制器用来为干涉仪提供电源，并且包含降 重 点 实 验 室