基于SAFT的单晶硅内部缺陷时域检测成像方法 - 中国机械工程.PDFVIP

基于 的单晶硅内部缺陷时域检测成像方法———乌 伟 邱宗明 黄秋红 SAFT 　 　 　 基于SAFT的单晶硅内部缺陷时域检测成像方法 乌 伟 邱宗明 黄秋红 　 　 　 , , 西安理工大学 西安 ７１００４８ : , 摘要 为了提高单晶硅内部缺陷的测量精确度和空间分辨率 针对单晶硅材料提出了合成孔径聚焦 , , , 技术直接时域重建的方法 将多个 超扫描测量结果连续叠加 合并样本点的相位信息 根据 算 A TOF . , , 法实现数据映射和同相求和 基于６dBdrop的概念 提出了可描述缺陷边界特征的测量方法 进而推 、 、 , . 测缺陷的范围 位置 形状及特征 为单晶硅切片工序的计算提供更多信息 流时域重建方法可用于处 , , . , 理实验数据 进而描绘缺陷的特征 简单有效地提高空间分辨率 实验结果表明 该方法可清楚辨别出 , 两个间隔小且直径为０．８mm的孔洞 且天然缺陷的尺寸和方位的量化非常接近于实际测量出的切割 试样. : ; ; ; ; 关键词 合成孔径聚焦技术 无损检测 缺陷尺寸 时域 SAFT成像 中图分类号: : / TM９３０．１ DOI１０．３９６９ ．issn．１００４１３２X．２０１６．１５．０１６ j Imain MethodofMonocrstallineSiliconInternalDefectsBasedonSAFTTimedomainDetection g g y WuWei　QiuZonmin　Huan Qiuhon g g g g , , XianUniversitofTechonlo Xian７１００４８ y gy : AbstractAdirecttimedomainreconstructionandsizin methodofSAFTwasdeveloedtoimＧ g p rovethesatialresolutionandsizin accuracofmonocrstallinesiliconinternaldefects．ThebasiciＧ p p g y y