运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合.PDFVIP

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2017-08-14 发布于天津
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运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合

28 12 V o 128 No12 1999 12 A CT A PHOT ON ICA SINI CA December 1999 惠梅牛憨笨 ( 7 100 68) 本文提出了一种运用泽尼克( Zernike) 多项式的波前数据拟合方法给出了离点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤可对待测物面低调制度点斑点噪音及灰尘点区域进行波前数据拟合, 通过一定阈值的设定, 将误差点用掩模滤除并予以拟合进一步提高了物体测量精度泽尼克多项式波前数据拟合阈值掩模 0 1 , Zernike , , ( ) n Zernike , n , , , W = a + a s + a s + + as + i 0 1 1i 2 2i j j i + a s ( i = 1, , N; N n) ( 1) , n ni s i , s , , j i j , , a , s j j , , , Zernike , , , Z , YZ , sj , 1 2 m i m S ( r, ) = R ( r) e , Zernike j n * 2 2 x + y 1 S S dx dy = / ( n+ 1) j j mm nn , ( 2) Zernike , r Y , , m n , n , m Zernike Zernike n 0 ; - n m n; n - m ; j =