扫描光刻系统的分段迭代学习控制策略 - 哈尔滨工业大学学报.pdf

第４５卷　第７期 哈　尔　滨　工　业　大　学　学　报 Ｖｏｌ４５ Ｎｏ７ 　 　 ２０１３年７月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＨＡＲＢＩＮＩＮＳＴＩＴＵＴＥＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｊｕｌｙ２０１３ 　　　　　　 扫描光刻系统的分段迭代学习控制策略 陈兴林，姜晓明，王　岩 （哈尔滨工业大学 航天学院，１５０００１哈尔滨） 摘　要：结合扫描光刻系统的曝光特点，提出一种分段迭代学习控制方法．该方法继承了非因果迭代学习律充分学习的 特点．为改善动态跟踪性能，在加速过程段对前一迭代周期的误差信息进行非因果学习，以保证其沿迭代轴的快速收敛 性．为克服非因果迭代学习律盲目学习的缺点，在匀速曝光段不对误差信息进行非因果学习，以保证系统的曝光性能不 发生恶化，并改善系统在时间轴的瞬态性能．此外，对该方法的收敛性进行了分析和证明，并结合实例，验证了方法的有 效性． 关键词：迭代学习控制；扫描曝光；分段学习；非因果学习 中图分类号：ＴＰ２７３ 文献标志码：Ａ 文章编号：０３６７－６２３４（２０１３）０７－００１８－０６ Ｓｅｇｍｅｎｔｅｄｉｔｅｒａｔｉｖｅｌｅａｒｎｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌｓｔｒａｔｅｇｙｆｏｒｗａｆｅｒｓｃａｎｎｅｒｓｙｓｔｅｍｓ ＣＨＥＮＸｉｎｇｌｉｎ，ＪＩＡＮＧＸｉａｏｍｉｎｇ，ＷＡＮＧＹａｎ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１５０００１Ｈａｒｂｉｎ，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂａｓｅｄｏｎｅｘｐｏｓｕｒｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｔｈｅｗａｆｅｒｓｃａｎｎｅｒ，ａｓｅｇｍｅｎｔｅｄｉｔｅｒａｔｉｖｅｌｅａｒｎｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌ ｓｔｒａｔｅｇｙｉｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄ．Ｔｈｅｐｒｏｐｏｓｅｄｍｅｔｈｏｄｉｎｈｅｒｉｔｓｔｈｅａｄｖａｎｔａｇｅｏｆｎｏｎｃａｕｓａｌｉｔｅｒａｔｉｖｅｌｅａｒｎｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌ， ｗｈｉｃｈｉｓｆｕｌｌｌｅａｒｎｉｎｇｏｆｅｒｒｏｒｓ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｄｙｎａｍｉｃｔｒａｃｋｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ，ｎｏｎｃａｕｓａｌｌｅａｒｎｉｎｇｏｆ ｅｒｒｏｒｓｉｎｔｈｅｌａｓｔｉｔｅｒａｔｉｏｎｉｓｉｍｐｌｅｍｅｎｔｅｄｄｕｒｉｎｇｔｈｅａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｐｈａｓｅ，ｗｈｉｃｈｇｕａｒａｎｔｅｅｓｔｈｅｆａｓｔｃｏｎｖｅｒｇｅｎｃｅ ｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍｖｅｒｓｕｓｉｔｅｒａｔｉｏｎｄｏｍａｉｎ．Ｆｏｒｔｈｅｐｕｒｐｏｓｅｏｆｏｖｅｒｃｏｍｉｎｇｔｈｅｗｅａｋｎｅｓｓｏｆｂｌｉｎｄｌｅａｒｎｉｎｇｆｏｒｎｏｎ ｃａｕｓａｌｉｔｅｒａｔｉｖｅｌｅａｒｎｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌｍｅｔｈｏｄｓ，ｅｒｒｏｒｓａｒｅｎｏｔｌｅａｒｎｔｆｕｌｌｙｄｕｒｉｎｇｔｈｅｃｏｎｓｔａｎｔｖｅｌｏｃｉｔｙｓｏｔｈａｔ ｅｘｐｏｓｕｒｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｄｏｅｓｎｏｔｇｏｂａｄ．Ｉｔｉｍｐｒｏｖｅｓｔｈｅｔｒａｎｓｉｅｎｔｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｖｅｒｓｕｓｔｉｍｅ．Ｉｎａｄｄｉｔｉｏｎ，ｔｈｅ ｃｏｎｖｅｒｇｅｎｃｅｏｆｔｈｅｐｒｏｐｏｓｅｄｍｅｔｈｏｄｉｓａｎａｌｙｚｅｄａｎｄｐｒｏｖｅｄ．Ｃｏｍｂｉｎｉｎｇｔｈｅｎｕｍｅｒｉｃａｌｅｘａｍｐｌｅ，ｅｆｆｅｃｔｉｖｅｎｅｓｓ ｏｆｔｈｅｍｅｔｈｏｄｉｓｔｅｓｔｉｆｉｅｄ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｉｔｅｒａｔｉｖｅｌｅａｒｎｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌ；ｓｃａｎａｎｄｅｘｐｏｓｕｒｅ；ｓｅｇｍｅｎｔｅｄｌｅａｒｎｉｎｇ；ｎｏｎｃａｕｓａｌｌｅａｒｎｉｎｇ 　　如今，步进扫描式光刻机已成为集成芯片制 高扫描光刻系统的曝光性能． ［１］ ［２］ 造的主要生产设备 ，承载硅片的精密工作台称 迭代学习控制由日本学者 Ｓ．Ａｒｉｍｏｔｏ 提 为硅片台，是其主要组成部分．它决定了硅片