西北大学 半导体物理课件13.pdfVIP

第十三章 第十三章 第第十十三三章章 非晶态半导体 非晶态半导体 非非晶晶态态半半导导体体 Pa rt 1 第十三章 Pa rt 1 第十三章 PPa a rrtt 11 第第十十三三章章 Pa rt 1 第十三章 Pa rt 1 第十三章 PPa a rrtt 11 第第十十三三章章 13.1 非晶态半导体的分类 13.1 非晶态半导体的分类 1133..11 非非晶晶态态半半导导体体的的分分类类 13.2 非晶态半导体的电子结构 13.2 非晶态半导体的电子结构 1133..22 非非晶晶态态半半导导体体的的电电子子结结构构 13.3 非晶态半导体中的缺陷 13.3 非晶态半导体中的缺陷 1133..33 非非晶晶态态半半导导体体中中的的缺缺陷陷 13.4 非晶态半导体的应用 13.4 非晶态半导体的应用 1133..44 非非晶晶态态半半导导体体的的应应用用 绪 论 绪 论 绪绪 论论 50年代科洛米耶茨等人开始了对硫系玻璃的研究，但直到1968 50年代科洛米耶茨等人开始了对硫系玻璃的研究，但直到1968 5500年年代代科科洛洛米米耶耶茨茨等等人人开开始始了了对对硫硫系系玻玻璃璃的的研研究究，，但但直直到 年奥弗申斯基关于硫系薄膜制作开关器件的专利发表以后，才引起 年奥弗申斯基关于硫系薄膜制作开关器件的专利发表以后，才引起 年年奥奥弗弗申申斯斯基基关关于于硫硫系系薄薄膜膜制制作作开开关关器器件件的的专专利利发发表表以以后后，，才才引引起起 人们对非晶态半导体的兴趣。 人们对非晶态半导体的兴趣。 人人们们对对非非晶晶态态半半导导体体的的兴兴趣趣。。 1975年斯皮尔等人在硅烷辉光放电分解制备的非晶硅中实现了 1975年斯皮尔等人在硅烷辉光放电分解制备的非晶硅中实现了 年斯斯皮皮尔尔等等人人在在硅硅烷烷辉辉光光放放电电分分解解制制备备的的非非晶晶硅硅中中实实现现了了 掺杂效应，使控制电导和制造PN结成为可能，从而为非晶硅材料的 掺杂效应，使控制电导和制造PN结成为可能，从而为非晶硅材料的 掺掺杂杂效效应应，，使使控控制制电电导导和和制制造造PPNN结结成成为为可可能能，，从从而而为为非非晶晶硅硅材材料料的的 应用开辟了广阔的前景。 应用开辟了广阔的前景。 应应用用开开辟辟了了广广阔阔的的前前景景。。 在理论方面，安德森和莫脱建立了非晶态半导体的电子理论。 在理论方面，安德森和莫脱建立了非晶态半导体的电子理论。 在在理理论论方方面面，，安安德德森森和和莫莫脱脱建建立立了了非非晶晶态态半半导导体体的的电电子子理理论论。。 非晶态半导体的分类 非晶态半导体的分类 非非晶晶态态半半导导体体的的分分类类 非晶态半导体的分类 非晶态半导体的分类 非非晶晶态态半半导导体体的的分分类类 目前研究最多的非晶态半导体有两大类： 目前研究最多的非晶态半导体有两大类： 目目前前研研究究最最多多的的非非晶晶态态半半导导体体有有两两大大类类：： 硫系玻璃非晶态半导体 硫系玻璃非晶态半导体 硫硫系系玻玻璃璃非非晶晶态态半半导导体体 四面体键非晶态半导体 四面体键非晶态半导体 四四面面体体键键非非晶晶态态半半导导体体 1、硫系玻璃非晶半导体 1、硫系玻璃非晶半导体 11、、硫硫系系玻玻璃璃非非晶晶半半导导体体 含硫族元素的