单晶硅表面金字塔大小及分布对少子寿命的影响 influence of size and fluctuation of pyramid on single crystal si surface on minority carrier lifetime.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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单晶硅表面金字塔大小及分布对少子寿命的影响 influence of size and fluctuation of pyramid on single crystal si surface on minority carrier lifetime.pdf

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单晶硅表面金字塔大小及分布对少子寿命的影响 influence of size and fluctuation of pyramid on single crystal si surface on minority carrier lifetime

SEM ICONDUCTOR OPTOELECTRONICS Vo1．33No．2 Apr ． 2012 单晶硅表面金字塔大小及分布对少子寿命的影响潘盛，冯仕猛 (1．上海交通大学物理系，上海 200240；2．江苏常州亿晶光电科技有限公司。江苏常州 213213) 摘要：单晶硅表面钝化后少子寿命以及制成的太阳电池转换效率与单晶硅表面金字塔大小、形貌和分布密切相关。用不同的碱液刻蚀单晶硅表面，用 SEM 观察其表面绒面结构，测量了不同碱液刻蚀的单晶硅表面的少子寿命以及对应太阳电池的转换效率。实验研究表明，不同碱液刻蚀的单晶硅表面绒面结构形貌差异大，少子寿命明显不同。进一步研究发现，绒面上金字塔尺寸较大，且分布不均匀，则其少子寿命较短，对应太阳电池的转换效率较低；反之，绒面上金字塔小且分布均匀，则绒面少子寿命相对较长，对应的太阳电池转换效率相对较高。关键词：单晶硅；绒面结构；金字塔；少子寿命中图分类号：TM914．41 文献标识码：A 文章编号：1001—5868(2012)02一O214—04 InfluenceofSizeandFluctuationofPyramidonSingleCrystalSi SurfaceonM inorityCarrierLifetime PAN Sheng ．FENG Shimeng (1．DepartmentofPhysics，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，CHN； 2．ChangzhonEGingPhotovoltaicTechnologyCo．Ltd．，Changzhou213212，CHN) Abstract： Theminoritycarrierlifetimeandconversionefficiencystronglydependonthesize anddistribution ofpyramidon the single crystalSi．The textured surfaceofsingle crystalSi etched with different alkaline solutions was observed． The minority carrier lifetime and conversion efficiency for the corresponding samplesweremeasured． The experimentalresults illustratethatthesurfacemicro—structureisdifferentforthesamplesetchedindifferentalkaline solutions．Itwasalsoobservedthatthelargesize—pyramidandlargefluctuationin pyramidsize couldreducetheminoritycarrierlifetime，which leadstothelow conversion efficiencyofsolar cel1．In contrary，forthesolarcellwith thesurfacefullofsmallsizeand smallfluctuation in pyramidsize，theminoritycarrierlifetimeandtheconversionefficiencyiscomparativelyhigh． Keywords： singlecrystalSi；texturedsurface；pyramid；minorityc