低温酸刻蚀对多晶硅表面织构化的影响 effects of low-temperature etching on acid texturization for multi-crystalline silicon.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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低温酸刻蚀对多晶硅表面织构化的影响 effects of low-temperature etching on acid texturization for multi-crystalline silicon.pdf

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低温酸刻蚀对多晶硅表面织构化的影响 effects of low-temperature etching on acid texturization for multi-crystalline silicon

《半导体光电)2012年 4月第 33卷第 2期周艺等：低温酸刻蚀对多晶硅表面织构化的影响低温酸刻蚀对多晶硅表面织构化的影响周艺，郭长春。，欧衍聪，肖斌，李荡，高振洲 (1．长沙理工大学化学学院。长沙 410114；2．湖南神州光电能源有限公司技术研发部。长沙 410205) 摘要：采用低温酸刻蚀，通过优化 HF—HNO。一H O腐蚀溶液体系配比及相关工艺参数，在多晶硅材料的表面制备了绒面结构，并进行 SEM表面形貌分析和反射谱的测试。结果表明，低温刻蚀比常温刻蚀在生产工艺中更有利于控制反应速度，从而得到效果较好的绒面结构。研究中发现，在不同HF_HNO。一H2o腐蚀溶液体系配比中，温度对反应速率的影响有较大差异，当HNO。含量相对较低时，低温刻蚀工艺有较好的效果。所得最佳绒面制备方案为：酸腐蚀溶液体系配比为 VHF： HNo ：VHo===1：4：2，温度为 3℃，反应速率控制为2．6tlm／min。该方案已在 25MW 多晶硅太阳电池生产线上实施，不增加工艺难度和生产成本，适合于工业生产。关键词：低温刻蚀；多晶硅；表面织构化；腐蚀速率；温度中图分类号：TM914．41 文献标识码：A 文章编号：1001—5868(2012)O2—0201--03 EffectsofLow-—temperatureEtchingonAcidTexturization forM ulti_。crystallineSilicon ZHOU Yi，GUO Changchun ，OU Yancong ，XIAO Bin ，LIDang ，GAO Zhenzhou。 (1．ChangshaUniversityofScienceandTechnology，Changsha410114，CHN； 2．HunanSunzoneOptoelectronicsEnergyCo．，Ltd，Changsha410205，CHN) Abstract： The textured structure on mu1ti—crystalline silicon was fabricated by lOW- temperatureacidetchingmethodwithoptimizedratioandtechnicalparametersinHF-HNO3-H2O system ，and thesurfacemorphology andreflectivityproperty ofsampleswerecharacterizedby scanning electron microscope (SEM ) and incident—photon—to—electron conversion efficiency (IPCE)．Theresultsshow thatthelow—temperatureacidetching ismoreeffectiveinobtaining favorabletextured structureand good controllabi1ity ofreaction rate，meanwhile，the large differenceexistsforreactionrateaffectedbytemperaturewithdifferentratiosofHF—HNO3一H2o solution．Goodresultcanbeobtainedatlow-temperatureacidetchingunderlow HN03content． Theoptimum parametersfortextured structureonmulti—crystallinesiliconwereconcludedas： HF：VHN() ：VH0：=：1：4：2，temperatureas3℃ andetchingrateas2．6~／m／min，whichwere successfullyperformedin25M W productionlineofmulti—crystallinesiliconsolarcel1．