32平面万向性分析.DOC

平面万向双阈值MEMS惯性开关 李保发，聂伟荣*，席占稳 （南京理工大学机械工程学院，江苏 南京210094） 国家自然科学基金项目（编号 作者简介：李保发 (1990一)，男，河南南阳人，硕士研究生，研究方向：微机电系统设计。E-mail：libaofa0217@163.com 摘要：针对现有惯性开关阈值单一导致应用范围受限的问题，设计了平面万向双阈值MEMS惯性开关。该 关键词：惯性开关；MEMS；双阈值；平面万向性 中图分类号：TJ430 文献标志码：A 文章编号： Planar Universal MEMS Inertial Switch with Double Threshold LI Baofa, NIE Weirong*, XI Zhanwen (School of Mechanical Engineering，NUST，Nanjing 210094，China) Abstract: In the view of limited application of the single threshold inertia switch, a double threshold inertia switch composed by spring-mass system and two group flexible electrodes is designed. The center annular mass suspended by four S-shape springs is used as movable electrode and the flexible electrode serve as fixed electrode. The flexible electrodes of the lower threshold are disposed outside the annular mass while the high threshold electrodes are inside the annular mass. The simulation results show that dispersion of the low threshold in different directions is-12%～-5% and the high threshold is-23%～-12%; minimum contact time in the sensitive?plane is 70us under 450g-1ms pulse load and the minimum contact time is 15us under 900g-1ms pulse load. Key word：Inertial switch; MEMS; double thresholds; planar universal 0引言 MEMS惯性开关是采用微加工技术 单阈值MEMS惯性开关开展研究最早，应用也最为广泛。如Greywall等研制了中心弹簧支撑环形质量块的双轴开关[1-2]，席占稳、杨卓青等研制了带有弹性电极的万向加速度开关[3-5]。但是在引信目标识别、地震监测等需要对不同加速度进行区别的应用环境中，单阈值开关使用受到限制，采用加速度传感器又不能满足低功耗的要求，多阈值开关成为首选。针对这种需求，Arjun Selvakumar等通过集成不同阈值的悬臂梁开关制造了多阈值开关，Jesung San Go、贾孟君等根据静电驱动的原理制作了阈值可调节开关[6-8]，但是这些开关均为单轴向开关。Luke J. Currano等则将阈值不同的五个开关集成在一起制造了一个能够方向加速度的开关本文针对此问题，提出了平面万向双阈值MEMS惯性开关。 1.1工作原理 本文设计的惯性开关的物理模型可简化为图1所示的弹簧质量阻尼系统。由于弹性电极的质量与质量块的质量相比较小，可忽略弹性电极质量，假设接触前后仅系统刚度发生变化，系统质量保持不变。图1中为质量块质量；、、分别为支撑弹簧刚度、弹性电极Ⅰ刚度、弹性电极Ⅱ刚度，、分别为质量块与弹性电极Ⅰ、弹性电极Ⅱ的间隙；开关低阈值与高阈值分别为、，两级阈值之比。 图1惯性开关物理模型 Fig.1 The theoretical model of the inertial switch 对于开关的物理模型，根据质量块与弹性电极的不同接触情况可将质量块的运动划分为三个状态：不与弹性电极接触的状态、只与弹性电极Ⅰ接触的状态，同时与弹性电极Ⅰ与Ⅱ接触的状态。忽略阻尼，质量块在各个状态的运动方程可表示为： 　　（１） 式中，，，为冲击加速度。 开关工作过程中受到的冲击加速度复杂多样，为方