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SooPAT 用于放置在PECVD腔中的背板的 夹钳机械装置 申请号：200720195738.3 申请日：2007-10-26 申请(专利权)人应用材料股份有限公司 地址 美国加利福尼亚州 发明(设计)人萨姆・H・金 朴范秀 威廉・N・斯特科 主分类号 C23C16/50(2006.01)I 分类号 C23C16/50(2006.01)I 公开(公告)号201217693 公开(公告)日2009-04-08 专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 徐金国 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利