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建设项目竣工环境保护 验收监测报告 中辐环验字(2015)第104号 （报批版） 项目名称： 新增离子植入机应用项目 委托单位： 德州仪器半导体制造（成都）有限公司 成都中辐环境监测测控技术有限公司 委 托 单 位环境监测测控技术有限公司 报告审核： 报告签发： 成都中辐环境监测测控技术有限公司 028传真：028邮编：610000 地址：成都市一环路南三段13号12栋单元502目 录 1 前言 1 1.1 项目和验收监测的由来 1 1.2 验收监测的主要内容,射线或核素,监测因子,布点简述等 2 1.3 验收监测项目的范围 3 2 验收监测的依据 3 3 项目工程概况 4 3.1 项目基本情况 4 3.1.1 项目名称、地点、建设单位及性质 4 3.1.2 项目工程内容、规模 4 3.2 项目地理位置 6 3.3 项目外环境关系及环境保护目标 6 3.4 项目平面布置 7 3.5 项目工艺流程及产污环节 7 3.6 项目劳动定员及工作制度 14 4 项目环评结论与批复要求 14 4.1 项目环评结论 14 4.2 项目环评批复要求 14 4.3 项目实际建成情况和环评内容的差异 16 5 验收监测评价标准 16 6 验收监测结果 17 6.1 监测因子及分析方法 17 6.1.1监测因子及点位的确定 17 6.1.2监测方法及方法来源 17 6.2 验收监测质量控制和质量保证 17 6.3 验收监测的实施 18 6.3.1 验收监测期间的工况 18 6.3.2 监测结果 18 6.3.3 监测结果分析 20 7 环境管理检查 21 7.1 项目三同时执行情况 21 7.2 环境保护设施建设及运行情况 21 7.3 辐射安全管理及防护措施落实情况 22 7.4 个人剂量档案管理检查 23 8 验收结论 24  1 前言 项目名称 建设单位 建设地点 德州仪器半导体制造（成都）有限公司生产厂房Fab（A） 联系人 刘小娇 联系电话 8768118转61125 通讯地址 成都市高新西区科新路8号附8号和附10号 建设性质 建(改扩建(改建( 2014）441号 总投资（万元） 2092.00投资（万元） 1034.9％ 环评批复内容 在原有Fab( A)生产厂房离子植入区新增使用型号为GSD200E2的离子植入机2台（管电压160kV，管电流 80mA），新增使用1台离子植入机（型号待定，管电压270kV，管电流 20mA），均属于类射线装置。 验收内容 本次验收Ⅱ类射线装置 GSD200E2型台VIISTA 810 EHP型1台；（环评批复：【川环审批（2014）441号】） 补充验收：NV-GSDIII-LENV-GSDIII-90型2台。（环评批复：【川环审批（2011）545号】） 1.1 项目和验收监测的由来 德州仪器半导体制造有限公司自2010年收购成芯公司以后，在原有成芯公司的8英寸芯片厂项目基础上，开展了德州仪器集成电路技术改造项目、集成电路技术改造（增加LBC3/4项目）与集成电路技术改造（增加V-diode产品项目），项目总设计产能为21000片/月，截至目前实际产能仅能达到大约14000片/月，为增加产能，公司拟新购3台离子植入机，为II类射线装置。上述新增设备投入使用后，结合现有生产设备安排生产，拟将产能由现有的14000片/月提升至18400片/月。 为加强射线装置在应用中的辐射环境管理，防止辐射污染，确保射线装置的使用不对周围环境和工作人员及公众产生不良影响，根据《中华人民共和国环境保护法》、《放射性同位素与射线装置防护条例》等相关法律法规要求，建设方委托四川省核工业辐射测试防护院对该项目开展了环境影响评价工作，编制《新增离子植入机应用项目环境影响报告表》，并取得了四川省环境保护厅批复（川环审批〔2014〕441号以往项目进行补充验收监测 1.2 验收监测的主要内容,射线,监测因子,布点简述等 本次验收的为： 表1-1 射线装置清单装置名称 工作场所 类别 数量 活动种类 备注 GSD 200E2型离子植入机 NIHCI09 生产厂房离子植入区I期 Ⅱ类 1台 使用 2014）441号】 新增 GSD 200E2型离子植入机 NIHCI10 生产厂房离子植入区期 Ⅱ类 1台 使用 新增 VIISTA 810 EHP型离子植入机NIMCI03 生产厂房离子植入区期 Ⅱ类 1台 使用 新增 NV-GSDIII-LE型离子植入机 NIHCI04 生产厂房离子植入区I期 Ⅱ类 台 使用 545号】 补充验收