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高质量灵敏度声波传感器_英文_
第31卷第5期 压 电 与 声 光 Vol.31No. 5
2009年10月 PIEZOE ECTRICS ACOUSTOOPTICS Oct. 2009
: 100422474( 2009)052 06192 05
Acoustic Wave Sensors with High Mass Sensitivity
LI Hong2lang, HENG Li2na, LIU Jiu2ling, WANG Wen, HE Shi2tang
(Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China)
Abstract: Acoustic devices on the basis ofpiezoelectric crystals are promising technology for gas and liquid sens2
ing application due to their remarkable characteristics including high sensitivity, impact size and low price. This pa2
per firstly reviews various acoustic wave sensors configuration and characteristics, then focuses on several high mass
sensitivity ones. Corresponding theoretical analysis of acoustic wave sensors and experiment al results are presented.
Key words:acoustic wave; sensors; mass sensitivity
李红浪, 程利娜, 刘久玲, 王 文, 何世堂
( 中国科学院 声学研究所, 北京 100080)
: 压电晶体声波器件具有灵敏度高, 体积小,价格低等独特优点, 因而在气体和液体检测领域的应用前
景广。该文首先介绍了多种不同类型的声波传感器的结构和特性, 重点给出了几种具有高质量灵敏度的声波传感
器, 并进行了相应实验验证。
: 声波;传感器; 质量灵敏度
: TP212;TN65 : A
In variety of industrial, medical, health care or amplitude characteristics of the sensor and then
and environmental protection applications, high2 can be correlated to the corresponding physi2
performance sensors are required to be compact, calquantity being measured.
intrinsically reliable, competitively priced and In recent decades, many kinds of acoustic
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