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结构应用的CVD钨和钨一合金铼
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7 结构应用的CVD钨和钨一铼合金
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TakehlkoHayashi,Sh[gehikoTakaoka等人 .
研究 cv。钨和钨一诛合全的显微组 高主材
‘反应室的分压影响 1沉积纯钨和钨一诛合金 的显微组织和表面粗糙度 。沉积纯钨和钨一诛合金
的晶粒度都在 0.5m 以下 实验证 明.细 晶粒鸽 的硬度 (Hv1000,室温 (R.T))、弯曲强
度 (R.T~1175K,8=700~ 1230MPa)和线性热膨胀 系数 (575~I175K,S=4.5~4.9×10
K )比柱状结构钨 大。
能的影响 (硬度、弯曲强度 、热冲击抗力及
热膨胀系数),以此证实 CVD钨和钨一铼台金
钨是一种很重要的金属 ,由于熔点高.极 显徽组织与其基本性能之间的关系。
好的高温强度和硬度 ,热导以及耐化学 (碱
实验程序
和酸)腐蚀而具有多种用途.这些性能使得
钨常被用作加热元素、白炽灯灯丝以及金属 图1表示化学气相沉积装置的示意图,
和陶瓷烧结的盘皿 钨一铼台金也具有优 良的
性能 .如高 的高温强度和延性 、高的再结晶
温度、耐电火花腐蚀和核辐射以及高的热离 气
子发射 ,因此,钨铼合金可以用作热电偶、x
线旋转阳极等。然而 ,粉末冶金钨和钨一铼合
金的用途受到了限制,因为很难加工成不同
形状的材料 。
过去一些论文 “ 对氢还原金属氟化物
沉积钨和钨一铼合金进行过研究。根据这些研 ’ 壹蕾f 器
究,cVD钨和钨一铼合金的如工参数,显微结
囝 1 CVD蓑置的示意舶
构和性能之间存在相互关系。在某些条件下 ,
沉积钨有显著的特性,如高密度和高纯度 。但
直径 125ram 的石墨基片 以 lOrpm转
是 ,很少研究显微组织,表面粗糙度和反应
动,用不锈钢室 内的水冷射频线圈加热。六
室的压力,喷嘴直径 以及细晶钨 (即晶粒度
氟化钨、六氟化铼和氢气借助于加热的不锈
小于 5m)的机城性能之间的关系。
钢管通过喷嘴输送到反应室。六氟化钨、六
作者在本文中研究了控制显徽组织和表
氟 化 铼 和 氢 气 的纯 度 分 别 是 99.999 、
面粗糙度的技术 .旨在加工出各种形状的钨
99.99 、99.999 。在本 CVD装置 内用氢
和钨一铼合金 ,还研究了晶粒度对机械和热性
·68 ·
气与六氟化钨气体的比为 5:1的混合气体沉
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