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主动隔振技术在电子显微镜中的应用 AVI 系列技术优势 Herzan 的AVI 系列能是隔震频率实现最大的分辨率。 在所有的六个维度，AVI 系列可以实现亚赫兹的隔震性能。在2Hz 下可衰减90% 的震动，在5Hz 可衰减99%，在10Hz 可衰减99.8% AVI 系列特性 可实现从0.5~200Hz 的主动隔震频率 超出200Hz 可实现被动隔震 六个维度实现隔震 内部反馈循环 紧凑，模块化的设计 安装，使用简单，无需持续的维护 使用的技术 AVI 系列内部使用压电振动传感器，在AVI 系统内部，至少具有八个压电振动传 感器。分别探测六个维度的震动数据。 另外，压电加速计可以将动力学振动能量转换为电子讯号，从而转换为控制电子 信号，电子协调和处理从各种压电传感器测来的信号，并用算法进行处理。然后， 将把电子信号发送到执行器。实现信号的反馈。 使用效果 使用主动隔震之前的SEM 图像 使用被动隔震之后的SEM 图像 振动（Vibration），特别是20Hz 以下的低频振动对电子显微镜（简称电镜） 的干扰影响很大。如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取 适当措施，否则电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一 般可以选择混凝土减震台（Anti-Vibration Foundation ）、被动式减震器 (Passive-Vibration Isolation Platform)、主动式减震器(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解决。 混凝土减震台需要现场施工，且必须采取特殊方法（底部和周围有弹性软垫 层等），一般的土建施工方法有可能反而增加低频（20Hz 以下）振动。施工中有 大量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。混凝土减震台 的质量越大减振性越好，经多次实测，小于10 吨的减震台在1～10Hz 低频段内 有谐振，反而增大了振动。在被动式减震器中，一般常用的橡胶、钢弹簧、空气 弹簧（汽缸）等方式的减震器因为它们在20Hz 以下的低频段效果很差，甚至往 往由于谐振反而加大了振动，所以不考虑采用。只有磁力减震器（国产专利产品） 的低频效果较好。下图是几种减震方式的效果比较。 主动式减震器一般常用的有压电陶瓷式（性能好价格昂贵）、空气式（目前 国内电镜领域尚无成功的应用报告）、电磁式及电动机式等。它们的区别主要是 执行机构不同，而三维探测器和PID 控制器都大同小异。 压电陶瓷式：利用压电陶瓷的晶体压电效应产生等幅反相的三维内部振动。 空气式：由 PID 控制器控制进（排）气阀，连续可控的压缩空气在特殊的汽缸 内产生等幅反相的三维内部振动。电磁式：PID 控制器分接控制三组电磁铁产生 等幅反相的三维内部振动。主动式减震器的减振效果可以达到 20Hz 以上约 -22～-28dB。不同形式的主动式减震器价格亦有较大的差异。各种减震器最好在 电镜就位安装之前准备好，与电镜同时安装。