FT 膜厚量测技术分析 - AOIEA 自动光学检测设备联盟.PDF

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2017-08-12 发布于天津
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FT E-mail: FuShiangYang@.twCarol_Tien@.tw TFT LCD array CF cell CF μmFT FT FT FT n k 1 (n )d (n)b(n ) o s   Fresnel Equation n k r 1r 2 a b   t 3t 4a b  5 a a 6R () 7 - + t n0 ra a a + + - n ta rb ra d + n tb s b 2 2    r r 2r r cos 2 R ()  a 2 a 2 a b     1r r 2r r cos