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过渡族金属掺杂zno薄膜的晶体结构和磁性能 crystal structure and magnetic properties of transition-metal-doped zno films
研究 分析 实验
过渡族金属掺杂ZnO 薄膜的晶体结构和磁性能
方东明 周 勇 赵小林
上海交通大学 微纳米科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030
摘 要 采用电子束蒸发法制备了过渡族金属 Fe Co Cu 掺杂ZnO 薄膜 分析和研究了衬底温度以及
Cu 掺杂量对薄膜相结构的影响 获得沿 c 轴高度择尤取向的高质量ZnO 薄膜 采用原子力显微镜 AFM 观
察薄膜的显微结构 利用所得的图象信息对薄膜进行分析 发现 400 的衬底温度对硅衬底薄膜是合适的 与
XRD 分析相吻合 通过对薄膜磁性能的分析和研究 得出一些有意义的结果 适量Fe Co 离子掺杂的ZnO 薄
膜 在室温下具有铁磁性 而在此基础上掺入少量的Cu 离子能改善薄膜的磁性能
关键词 ZnO 薄膜 掺杂 电子束蒸发 结构 磁性能
中图分类号 +
O484.4 3 文献标识码 A 文章编号 1001-3830(2006)01-0019-04
Crystal Structure and Magnetic Properties of
Transition-metal-doped ZnO Films
FANG Dong-ming, ZHOU Yong, ZHAO Xiao-lin
Research Institute of Micro/Nanometer Science and Technology Key Laboratory
for Thin Film and Microfabrication Technology of the Ministry of Education
Shanghai Jiaotong University Shanghai 200030 China
Abstract: Transition-metal(Fe,Co,Cu)-doped ZnO films were fabricated by using e-beam evaporation method.
We have analysed and discussed the phase structures under different conditions such as substrate temperatures and Cu
contents, and we got highly c-axis oriented ZnO films. The microstructures of the films were observed by AFM. It was
found that 400 is an ideal silicon substrates temperature, which conforms to the analysis of XRD. By analyzing the
magnetism of ZnO films, we found that the films appropriately doped with Fe, Co ions have ferromagnetism at room
temperature and their ferromagnetism can be improved by doping a few Cu ions.
Key words: ZnO film; doping; e-beam evaporation; crystal structure; magnetic properties
用 亦称sp-d 交换作用 这使该类新型材料具有
1 引言
一系列与
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