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2017-08-16 发布于天津
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chapter4真空测量.pdf

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chapter4真空测量

ChapterChapter 44 真空測量真空測量第一節真空量測的基本量 4.1 真空量測的基本量真空量測的基本量 本章將敘述真空技術實用時應量測的基本量本章將敘述真空技術實用時應量測的基本量 4.2 真空中氣體的壓力 壓力 44.33 粗略到中度真空範圍用的真空計粗略到中度真空範圍用的真空計 抽氣速率 4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計 氣流通量 44.55 部分壓力分析儀部分壓力分析儀 氣導 4.6 真空計的校正 44.77 抽氣速率的測定抽氣速率的測定 4.8 氣流通量的測定 4.94.9 氣導的測定氣導的測定 1 2 壓力的量測壓力的量測第二節第二節真空中氣體的壓力 基本量最重要的量為： 量測壓力的儀器為： 真空壓力，即習慣上所謂壓力 真空計（vacuum gauge ） 大多數的基本量多與壓力有關 真空計即係壓力計或氣壓計 其量測或計算常要求壓力為己知，或先予測 不同的壓力範圍量測壓力的原理及技術不同定定，故本章將重點放在壓力的量測故本章將重點放在壓力的量測 故用真空計名詞以與一般的壓力計作區別 壓力的量測 真空系統中的壓力僅為量測的量 真空計 3 4 真空計根據技術原理 真空計的定義真空計的定義 為一種裝置用以直接或間接測定真空系統中氣體的壓力的壓力 因真空系統中的氣壓均很低，故真空計的操作原理包含直接利用測定單位面積上所受的力及間接利用氣體壓力與一些量的關係而導出壓力 真空計的分類 根據技術原理 概括性的分類 5 6 概括性的分類 (A)絕對真空計第三節粗略到中度真空範圍用的真空計  （absolute vacuum gauge ）為直接測定單位面積上所受的力 為直接測定壓力