三维形貌检测的自动参考栅象法研究-光子学报.pdf

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2017-08-16 发布于天津
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三维形貌检测的自动参考栅象法研究-光子学报

27 6 V o 1. 27 No. 6 199 8 6 A CT A PH OT ON ICA SINI CA June 1998 徐建强王蕴珊 ( , 250061) 本文提出了一种用于曲面形貌检测的傅里叶变换法中的参考象图的自动产生及误差修正方法, 通过对实际测量图象的处理, 证明该方法具有很好的使用效果, 从而大大提高了傅里叶变换法检测曲面形貌的精度和实用性傅里叶变换; 三维形貌测量; 参考 0 , , , 1, 3 ( ( Foru er t ransform prof lometry, FT P) ( phase- sh f t mo re topog raphy, PMT ) ( s nuso dal spat al phase det ect on , SPD) ( phase- sh ft g rat ng project on, PGP ) ( phase- sh ft and log cal mo re, PSAL M) ) , , , , , , , , , 1 1 , G , , O , X , Y , h ( x , y ) 1 F g. 1 T he o pt cal geometr y of the proj ect ng and , g ( x , y ) reco rd ng system * g ( x , y ) = a ( x , y ) + c ( x , y ) ex p( 2f 0 x ) + c ( x , y ) exp( - 2f 0x ) ( 1) f 0 = 1/ p ; p X , 收稿日期: 1997 - 12- 29 27 554 * G (f , y ) = A (f , y ) + C (f - f 0, y ) + C (f + f 0, y ) ( 2) a ( x , y ) f 0 , f 0 , ; C(f - f 0, y ) , C (f , y ) , log[ c ( x , y )] = log[ ( 1/ 2) b( x , y )] + ( x , y ) ( 3) , , , ( ) h ( x , y ) = ( x , y ) / [ 2d - p ( x , y )] ( 4) , , , g 0 ( x , y ) g ( x , y ) + g ( x , y ) = A ex p{ [ 2nf x + n ( x , y )] } ( 5) 0 n 0 0 -