无透镜数字全息显微成像技术与应用-影像科学与光化学.PDFVIP

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2017-08-14 发布于天津
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无透镜数字全息显微成像技术与应用-影像科学与光化学.PDF

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无透镜数字全息显微成像技术与应用-影像科学与光化学

第卷第期影像科学与光化学年月论文影像获取与信息系统专刊无透镜数字全息显微成像技术与应用盛海见吴育民文永富李根程灏波北京理工大学光电学院光机电联合研究中心北京北京理工大学深圳研究院广东深圳摘要针对微结构和微光学元件等微小物体的表面定量检测本文介绍了一种利用无透镜数字全息的快速无损的显微成像方法首先介绍了基于球面波的无透镜数字全息显微成像技术的基本原理采用作为光电转换器件基于迈克尔逊干涉光路设计了无透镜数字全息显微成像系统利用反射镜构成折反式光路系统结构简单紧凑提升了系统便携性然后利用分辨率板对构建的成像系统进行了标定实验得出其横向分辨率为放大倍率为系统工作距离为此外还对晶圆表面结构进行实际测量实验验证了该系统的可行性和有效性有望进一步应用于微光学元件光学元件等表面形貌的定量测量中无透镜数字全息显微成像光学表面检测关键词文章编号数字全息显微术是传统光学全息数字技术域成为一种新的工具逐渐应用于微机电系统与计算机技术的复合技术使用