柱面面形干涉测量-计量学报.PDFVIP

第３６卷　第５期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３６，№５ ２０１５年　９月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ，２０１５ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１５．０５．０３ 柱面面形干涉测量 １ １ ２ 于瀛洁 ，　许海峰 ，　彭军政 （１上海大学精密机械工程系，上海２０００７２；２深圳大学光电工程学院，深圳５１８０６０） 摘要：介绍了一种柱面面形干涉测量方法。该方法选用计算全息片作为柱面波转换器，能够将平面干涉仪出 射的平面波转换成理想柱面波前，依此为基础，建立了柱面干涉测量系统，能够实现柱面的干涉测量。为了获得柱 面的真实面形误差，分析了调整误差引起的失调像差，并给出了失调像差的分离方法。最后，以玻璃圆柱体为被测 样本，对单孔径面形的重复性进行验证，２０次测量结果峰谷值（ＰＶ）标准差为２０２ｎｍ，为ＰＶ平均值的０５５％。 关键词：计量学；柱面面形；干涉；柱面波转换器；计算全息片；调整误差 中图分类号：ＴＢ９２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１５）０５０４６００４ ＴｈｅＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃＭｅｔｈｏｄｆｏｒｔｈｅＣｙｌｉｎｄｒｉｃａｌＳｕｒｆａｃｅ １ １ ２ ＹＵＹｉｎｇｊｉｅ，　ＸＵＨａｉｆｅｎｇ，　ＰＥＮＧＪｕｎｚｈｅｎｇ （１ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｒｅｃｉｓｉｏｎＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｇｈａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００７２，Ｃｈｉｎａ； ２ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈｅｎｚｈｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈｅｎｚｈｅｎ５１８０６０，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＡｎｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃｍｅｔｈｏｄｔｏｍｅａｓｕｒｅｔｈｅｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｓｕｒｆａｃｅｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄＴｈｅｃｏｍｐｕｔｅｒｇｅｎｅｒａｔｅｄｈｏｌｏｇｒａｍ ｗａｓｕｓｅｄａｓｗａｖｅｆｒｏｎｔｃｏｎｖｅｒｔｅｒ，ｗｈｉｃｈｃａｎｃｏｎｖｅｒｔｔｈｅｐｌａｎｅｗａｖｅｆｒｏｎｔｉｎｔｏｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｗａｖｅｆｒｏｎｔＷｉｔｈｉｔ，ａｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃｓｙｓｔｅｍｗａｓｂｕｉｌｔＴｏｇｅｔｔｈｅｒｅａｌｓｕｒｆａｃｅｆｉｇｕｒｅｏｆｔｈｅｔｅｓｔｅｄｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｓｕｒｆａｃｅ，ａｍｉｓａｌｉｇｎｍｅｎｔａｂｅｒｒａｔｉｏｎｓ ｒｅｍｏｖａｌｍｅｔｈｏｄｉｓａｌｓｏｐｒｏｐｏｓｅｄＬａｓｔｌｙ，ｓｅｖｅｒａｌｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｗｅｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｔｏｖａｌｉｄａｔｅｔｈｅｐｒｏｐｏｓｅｄｍｅｔｈｏｄａｎｄｓｙｓｔｅｍ， ｗｈｅｒｅｔｈｅｇｌａｓｓｃｙｌｉｎｄｅｒｗａｓｃｈｏｓｅｎａｓａｔａｒｇｅｔＴｈｅｒｅｐｅａｔａｂｉｌｉｔｙｏｆｓｉｎｇｌｅａｐｅｒｔｕｒｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｗａｓｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄｂｙ ｍｅａｓｕｒｉｎｇｔｈｅｔａｒｇｅｔ２０ｔｉｍｅｓＴｈｅｓｔａｎｄａｒｄｄｅｖｉａｔｉｏｎ（ＰＶ）ｉｓ２０２ｎｍｔｈａｔｉｓ０５５％ｏｆｔｈｅａｖｅｒａｇｅｖａｌｕｅｏｆＰＶ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ；ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｓｕｒｆａｃｅ；ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙ；ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｗａｖｅｃｏｎｖｅｒｔｅｒ；ＣＧＨ；ａｄｊｕｓｔｍｅｎｔｅｒｒｏｒｓ ［２］