红外探测器用蓝宝石滤光片焊接工艺研究-激光与红外.PDFVIP

第４４卷　 第４期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．４ 　 ２０１４年４月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｐｒｉｌ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）０４０３８７０４ ·红外技术及应用 · 红外探测器用蓝宝石滤光片焊接工艺研究 李艳红，刘　森 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：针对某型号探测器组件上用的ＡｌＯ 蓝宝石滤光片与可伐冷头钎焊的成品率低、后期 ２ ３ 失效问题突出等问题展开研究，找到了影响滤光片焊接成品率的几个关键因素，并针对这些因 素提出解决方案，并通过一系列环境试验验证其可靠性，大幅提升了宝石窗口密封焊接工艺成 品率。 关键词：蓝宝石；滤光片；可伐；焊接 中图分类号：ＴＮ２１９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１４．０４．００８ Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｔｈｅｓｏｌｄｅｒｉｎｇｏｆｓａｐｐｈｉｒｅｏｐｔｉｃａｌ ｆｉｌｔｅｒｕｓｅｄｉｎｉｎｆｒａｒｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒ ＬＩＹａｎｈｏｎｇ，ＬＩＵＳｅｎ （ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｏｓｏｌｖｅｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｏｆｔｈｅｌｏｗｙｉｅｌｄａｎｄｔｈｅｌａｔｅｒｆａｉｌｕｒｅｏｆｔｈｅｓｏｌｄｅｒｉｎｇｏｆＡｌ２Ｏ３ｓａｐｐｈｉｒｅｏｐｔｉｃａｌｆｉｌｔｅｒ ａｎｄＫｏｖａｒａｌｌｏｙ，ｓｅｖｅｒａｌｉｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇｆａｃｔｏｒｓｏｆｔｈｅｌｏｗｆｉｅｌｄｏｆｔｈｅＡｌ２Ｏ３ｓａｐｐｈｉｒｅｏｐｔｉｃａｌｆｉｌｔｅｒａｒｅａｎａｌｙｚｅｄａｎｄｓｔｕｄ ｉｅｄＡｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｓｅｉｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇｆａｃｔｏｒｓ，ｔｈｅｓｏｌｕｔｉｏｎｓａｒｅｐｒｏｐｏｓｅｄａｎｄｉｔｓｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｈａｓｂｅｅｎｖｅｒｉｆｉｅｄｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｅｘ ｐｅｒｉｍｅｎｔｓ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｓａｐｐｈｉｒｅ；ｏｐｔｉｃａｌｆｉｌｔｅｒ；Ｋｏｖａｒ；ｓｏｌｄｅｒｉｎｇ ［１］ １　前　言 化方法 。间接钎焊法的钎焊温度可以灵活的掌 目前，国内生产的中波红外ＩｎＳｂ焦平面探测器 握，既可以用高温钎料钎焊，也可以用低温软钎料 所使用的滤光片基材，主要有 ＡｌＯ 蓝宝石、Ｇｅ片 钎焊。 ２ ３ 和Ｓｉ片。Ｇｅ片和Ｓｉ片在镀完膜后的透过率可以达 直接钎焊法主要包括活性金属钎料直接钎焊法 到９５％以上，ＡｌＯ 蓝宝石在镀完膜后透过率能达 ［１］ ２ ３ 和氧化物钎料直接钎焊法 ，直接钎焊法的钎焊温 到９０％。同Ｇｅ片和Ｓｉ片相比，虽然ＡｌＯ 蓝宝石 度一般都在７００℃以上。 ２ ３ 在透过率方面，稍显不足，但是，其莫氏硬度达到９， 本文中的滤光片所镀的光学膜，由于膜系设计 机械性能远优于Ｇｅ片和Ｓｉ片，故该材料集中用于 所限，仅能承受最高３５０℃高温，所以只能选用间接 对可靠性要求极