富碲碲化铅薄膜的晶体结构表面形貌元素深度分布和中红外光学常数.pdf

Vo1．24，No．1 Vo l. 24 , No.l 红外与毫米波学报 第 24 卷第 1 期 红外与毫米波学报 第24卷第1期 February，2005 February .2005 2005 年2 月 J．Infrared Millim．Waves 2005年2月 J. Infrared Míllim. Waves 文章编号:1∞1 吨 9014(2∞5)01 呵。023 呵。4 文章编号：1001—9014I2005)01—0023—04 寓硝硝化铅薄膜的晶体结构、表面形貌、 富碲碲化铅薄膜的晶体结构、表面形貌、 元素深度分布和中红外光学常数 元素深度分布和中红外光学常数 李斌，张素英，谢平，张凤山 李 斌， 张素英， 谢 平， 张凤山 (中罔科学院上海技术物理研究所，上海 20∞83 ) (中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083) 摘要：对由富碲(1 moI_％)碲化铅晶体材料热蒸发制备的薄膜进行了表征．结果表明：薄膜是多晶的，具有NaC1 摘要:对自商品帝( 1 mol. % )磅化铅晶体材料热蒸发制备的薄膜进行了表征.结果表明;薄膜是多品的，具有 NaCl 型晶体结构，表面晶粒分布均匀，在膜层的深度方向约170 nm内富碲的组分均匀分布．对比薄膜表面抛光前后的 型晶体结构，表面晶粒分布均匀，在膜层的深度方向约 170 nm 内富磅的组分均匀分布.对比薄膜表面抛光前后的 中红外光学常数表明表面散射对薄膜光学性质的影响极小. 中红外光学常数表明表面散射对薄膜光学性质的影响极小． 关 键 词：富碲碲化铅薄膜；晶体结构；表面元素深度分布；光学常数；表面散射 关 键 词:富稀稀化铅薄膜:晶体结构;表1ìíí元素深度分布:光学常数;表面散射 中团分类号:TN213 文献标i只码 :A 中图分类号：TN213 文献标识码：A CRYSTAL STRUCTURE，SURFACE MORPHOLOGY， CRYSTAL STRUCTURE , SURFACE MORPHOLOGY , DEPTH PRoFⅡ E oF ELEM NTS AND MID-INFRARED DEPTH PROFILE OF ELEMENTS AND 1\但D幽INFRARED OPT ICAL CoNSTANTS oF TE．IUCH LEAD TELLURmE FILMS OPTICAL CONSTANTS OF TE-RICH LEAD TELLURIDE FILMS LI Bin， ZHANG Su—Ying， XIE Pin， ZHANG Feng—Shan LI Bin , ZHANG Su幽Ying ， XIE Pin , ZHANG Feng~Shan (Shanghai Institute of Technical Physics，Chinese Academy of Sciences，Shanghai 200083，China)