窄带干涉滤光片抗击不同输出方式.pdf

维普资讯 第 17卷 第 2期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．17，NO．2 2005年 2月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Feb．．2005 文章编号： 1001-4322(2005)02—0191-06 窄带干涉滤光片抗击不同输出方式 激光的损伤特性研究 高卫东， 贺洪波，赵元安，范正修，邵建达 (中国科学院 上海光学精密机械研究所薄膜 中心，上海 201800) 摘 要： 利用 Nd：YAG调 Q单脉冲激光和 自由脉冲激光对硬膜窄带干涉滤光片进行激光损伤阈值的 测试 ，并且采用表面热透镜技术测量了滤光片的吸收率。实验发现：窄带干涉滤光片的吸收率和激光损伤阈值 强烈依赖于辐照激光波长与窄带干涉滤光片通带的相对位置；在调 Q单脉 冲激光作用下，不同中心波长的滤 光片损伤形貌存在明显的差别，而在 自由脉冲激光作用下，各滤光片的损伤形貌则趋于相同．均表现为典型的 热熔烧蚀破坏。根据实验结果，结合损伤形貌 ，通过驻波场理论对激光作用下滤光片内电场分布的分析与模 拟 ．探讨了两种激光模式作用下滤光片的损伤特征和损伤机理的不同特点。 关键词： 干涉滤光片； 激光损伤； 单脉冲激光； 自由脉冲激光 中图分类号： 0437 文献标识码 ： A 在激光技术 、卫星遥感探测以及 目前正在飞速发展 的光通讯技术中，窄带干涉滤光片是非常重要的元件之 一 [1q ] ，但 同时窄带干涉滤光片又是现代光学系统中比较脆弱的一种光学元件 ]。一直 以来，薄膜的激光损伤 都是一个非常活跃的研究领域，人们在薄膜材料的选择、膜系设计、薄膜缺陷分析、沉积系统的改进 以及损伤阈 值的测试程序规范方面已经做 了大量的工作，并且取得了许多卓著的成效E 。研究窄带干涉滤光片的激光损 伤特性[6]，对于探求窄带干涉滤光片的激光损伤机制 ，进而实现对窄带干涉滤光片乃至整个光学系统 的加 固 和防护都具有重要的指导意义和实用价值。 本文利用调 Q单脉冲激光和 自由脉冲激光对硬膜窄带干涉滤光片进行激光损伤实验研究 ，结合滤光片的 吸收率测量和损伤形貌 ，通过驻波场理论对激光作用下窄带干涉滤光片内电场分布的分析与模拟，深入探讨 了 两种激光工作方式作用下窄带干涉滤光片的损伤特征和损伤机理 。 1 实验样 品的设计和制备 首先利用TFCalc膜系设计软件设计 了中心波长为 1064rim 的双腔窄带干涉滤光片，为了更好地抑制短 波区，在膜系的设计 中，通过增加反射带来实现对短波截止区的延伸 14(0．81H0．81L)E4(HL)2H 10(LH)L 2H4(LH)-]。然后 以K9玻璃为基底 ，采用 TazO ／SiO。在双 RF离子束溅射镀膜机上进行滤光片的镀制 。镀 制过程 中，通过改变监控波长的厚度，从而获得了不同中心波长 的窄带干涉滤光片。 2 实验结果与分析 2．1 透射 曲线 利用 LAMBDA900对制备 的滤光片进行 400 1200rlm 的0。透射的测量 ，所测透射率曲线如图 I所示。 2．2 带通滤光片的结构和电场分析一驻波场理论 2．2．I 带通滤光片的结构 对于全介质滤光片 ，从结构上又可以分为单腔滤光片和多腔滤光片 。单腔滤光片又可分为两类 ：其结构分 别为 A一 (HL)H2mLHn(LH)和B一 (HL)2mH (LH)，均由反射层 (HL)，间隔层 2mL或 2mH组 成 。其 中H为高折射率材料 ，L为低折射率材料 ，为反射层基本周期 (HL)的周期数 ，m是干涉级次。其典型 结构见图 2。 多腔滤光片结构为 ：ALA…ALA，BLB…BLB或者 A和 B的组合 ALB…BLA，而 A和 B的组合 的个数 、 次序不确定 。其 中A，B分别为上面定义的单腔滤光片 ，L是用低折射率材料作为耦合层。 * 收稿 日期 ：2004—03—15； 修订 日期 ：2004—08～18 基金项 目：国家 863计划项 目资助课题 作者简介 ：高卫东 (1976一