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沈亦兵杨国光物镜的分辨率除受入射波长照明相干度和物镜的数值孔径影响外大程度上还受物镜象差的影响本文提出了一种定性分析测量物镜象差和加工装配误差对分辨率的综合影响的新方法利用该方法对两不同物镜象差影响进行测试和分析并用这两物镜进行了曝光光刻试验光刻试验的结果和测量分析的结果相吻合极限分辨率物镜象差国家自然科学基金重点资助项目编号收稿日期
28 2 Vo1.28 No.2
1999 2 ACTA PHOTONICA SINICA February 1999
沈亦兵 杨国光
(, 310027)
物镜的分辨率除受入射波长照明相干度和物镜的数值孔径影响外
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