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- 2017-08-15 发布于湖北
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厦门集顺半导体制造有限公司
40T/H超纯水系统
作
业
指
导
书
厂务部制
2015年5月25日
目 录
目录……………………………………………………………… 2
一、多介质过滤器……………………………………………… 7
手动操作说明……………………………………………………… 7
多介质单机图…………………………………………………… 13
二、活性炭过滤器……………………………………………… 14
手动操作说明……………………………………………………… 14
活性炭单机图…………………………………………………… 17
三、阳塔………………………………………………………… 18
手动操作说明……………………………………………………… 18
阳塔单机图……………………………………………………… 25
四、阴塔………………………………………………………… 26
手动操作说明……………………………………………………… 26
阴塔单机图……………………………………………………… 32
五、RO机组……………………………………………………… 33
手动操作说明……………………………………………………… 33
RO单机图……………………………………………………… 37
六、混床………………………………………………………… 38
手动操作说明………………………
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