平板型与同轴型等离子体发生器射频大气压辉光放电特性分析 characteristics of radio frequency atmospheric pressure glow discharges with different electrode configurations.pdfVIP

高电压技术 第 38卷 第 7期 2012年 7月 31日 HighVoltageEngineering，Vo1．38，No．7，July31，2012 平板型与同轴型等离子体发生器射频 大气压辉光放电特性分析 李和平，王志斌 ，乐沛思，葛 楠，包成玉 (清华大学工程物理系，北京 100084) 摘 要：为了深入理解不同的等离子体发生器几何结构对其放 电特性的影响规律，采用一维流体模型对平板型和 同轴型两种不同结构等离子体发生器的放 电特性进行 了数值模拟研究，并对放 电图像采用可见光 图像处理技术进 行了分析。数值模拟结果表明，平板型等离子体发生器所产生的等离子体主要参数(如电子温度和活性粒子浓度 等)关于两电极中间平面对称，而同轴型等离子体发生器所产生的等离子体主要参数则呈现出非对称的分布规律， 这与放电图像灰度值的空间分布规律定性一致。通过对等离子体中化学反应动力学过程的分析可知，不同结构发 生器所对应的等离子体主要参数的空间分布规律依赖于不同电极结构所导致的放 电区电场强度的空间分布。 关键词：等离子体；大气压辉光放 电；射频放 电}电极结构；图像处理；数值模拟 ；灰度值 D0I：10．3969／j．issn．1003—6520．2012．07．008 文章编号 ：1003—652O(2012)07—1588—07 CharacteristicsofRadioFrequencyAtmosphericPressure Glow DischargeswithDifferentElectrodeCOnfigurati0ns LIHeping，W ANG Zhibin，LE Peisi，GENan，BAO Chengyu (DepartmentofEngineeringPhysics，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：InordertO investigatethedischargecharacteristicsoftheplasmageneratorswith differentgeometrical configurations，aone—dimensionalfluidmodelwasemployedtOsimulatethedischargefeaturesoftheplanar—typeand CO—axial—typeradio—frequencyatmospheric—pressureglow discharge (RFAPGD)plasmagenerators．Andtypical dischargeimagesareanalyzedbyusingthevisibleimageprocessingtechnique．Themodelingresultsshow thatthe parametersoftheplasmas(e．g．，thedistributionsoftheelectrontemperatureandthespeciesnumberdensities， etc．)producedbytheplanar-typegeneratoraresymmetricaboutformid—planebetweentheelectrodes，whilethe asymmetricfeaturesbecomesignificantwith theco-axial—typegenerator．Thespatialdistributionsoftheplasma parametersusing thedifferenttypes ofplasma generators are qualitatively consistentwith the corresponding distributionsofthegraysca