平行板式静电微执行器动态pull-in现象分析 analysis of dynamic pull-in phenomena for parallel-plate electrostatic micro-actuator.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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平行板式静电微执行器动态pull-in现象分析 analysis of dynamic pull-in phenomena for parallel-plate electrostatic micro-actuator.pdf

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平行板式静电微执行器动态pull-in现象分析 analysis of dynamic pull-in phenomena for parallel-plate electrostatic micro-actuator

新型半导访器件 NovelSemiconductorDevice DOI：10，3969／j．issn．1003—353x．2012．03．003 平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析徐琳，方玉明，郄军建 (南京邮电大学电子科学与工程学院，南京210003) 摘要：基于求秣考虑边缘电容的静电微执行器动态Pull—in参数的能量分析法，并结合边缘电容的模型推导出考虑边缘电容情况下静电微执行器的动态Pull—in参数的计算方法。将不考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull—in参数和考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull．in参数进行比较，得到这两种条件下静电微执行器的动态Pull．in参数的不同以及边缘电容对静电微执行器动态Pull—in参数的影响：考虑边缘电容的Pull—in电压小于不考虑边缘电容的位移却没有影响，平行板宽度的变化对Pull—in电压的影响较小，但是对Pull．in位移的影响很大。关键词：微机械；微执行器；动态；边缘电容；平行板式 · 中图分类号：TN703文献标识码：A of Pull·inPhenomenaforParallel-Plate AnalysisDynamic ElectrostaticMicro．Actuator Xu Lin，FangYuming，QieJunjian ElectronicScienceand Posts (Collegeof Universityof and死fe∞mmMnico￡iom，Nanfing210003，China) Engineering，^b研ng onthe methodtoobtain ofthe Abstract：Based energyanalysis dynamicpull—inparameters electrostaticmicroactuatorswithout the andcombinedwiththe consideringfringingcapacitance fringing calculatedmethodof oftheelectrostaticmicro capacitancemodel，the dynamicpull-inparameters actuators the was withthe consideringfringingcapacitancederived．Compareddynamicpull—in oftheelectrostaticmicroactuatorswithout the withthe parameters consideringfringingcapacitance oftheelectrostaticmicroactuators the dynamicpull—inparameters consideringfringingcapacitance，the differencesof oftheelectrostaticmicroactuatorsunderthetwoconditionsand dynamicpull-inparameters