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平面电容传感器在探测材料损伤中的研究 study of detecting materials damage by coplanar capacitive sensor
材料与器件
M曲盱ials姐dDeviccs
DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．2011．07．001
平面电容传感器在探测材料损伤中的研究
谢宁宁，陈向东，李晓钰，宋漾
(西南交通大学 信息科学与技术学院，成都610031)
摘要：通过ANSYS软件分析了平面电容传感器电容量与极板宽度和极板间距的关系，并选
择合适的平面电容传感器探头的尺寸。针对非金属材料表面下水损伤的检测，提出了一种结构简
单、操作方便的三电极平面电容传感器检测法。根据平面电容传感器检测材料相对介电常数的变
化，深入研究了非金属材料表面下水柱损伤深度和水柱损伤区域大小对电容量的影响。仿真和初
步实验结果表明，在一定范围内，测得的电容值随着水柱损伤深度和损伤区域大小的变化而变化。
关键词：三电极平面电容传感器；ANsYS；损伤深度；损伤区域；探测
中图分类号：’rP212．41文献标识码：A
of Material’s
StudyDetecting DamagebyCoplanar
Sensor
CapacitiVe
Xie Chen Li
Ningning，Xiangdong，Xiaoyu，SongMeng
(＆_|IooZ
the
Abstract：TheeHbctof electI．odewidthandelectrode to sensor，s
spacingcoplanarcapacitive
is ANSYStoselectthesuitable of sensor．Anew
capacitanceanalyzedby probecoplanarcapacitive
methodofthree-electIDde sensorwhichis inconstlllctionand to i8
planarcapacitiVe simple easyoperate
todetectthewater undernon-metallicmaterials． on thelocal
pIDposed damage Basingdetecting
dielectric variationsis t0 thee日．ectofwater and
pemittiVity employedstudythoroughly damagedepth
water to Bothofthesimulationandthe resultsshow
damageregioncapacitance． preliminaryexperimental
the with water wateT intlle
variesthe and cenain
that， capaeitance damagedepth damageregion range．
three-electmde
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