平整度对细al丝超声引线键合强度的影响 effect of substrate surface smoothness on thin al wire wedge bonding strength.pdfVIP

平整度对细al丝超声引线键合强度的影响 effect of substrate surface smoothness on thin al wire wedge bonding strength.pdf

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平整度对细al丝超声引线键合强度的影响 effect of substrate surface smoothness on thin al wire wedge bonding strength

技术专栏 Column Technology doi:10.3969/j.issn.1003—353x.2009.11.005 平整度对细AI丝超声引线键合强度的影响 席俭飞,张方晖 (陕西科技大学电气与信息工程学院,西安710021) 摘要:为避免双键合点破坏性拉力实验不易准确的缺陷和剪切力测试不能评价键合点整体特 性的缺陷,采用了破坏性单键合点的测试方法。在尽量排除其他干扰因素的情况下,通过实验比 较了10种不同平整度条件下细Al丝超声引线键合的结果。结果表明,平整度对超声引线键合的 强度有影响,随着平整度的提高,键合强度和稳定度也随之提高。实际测试键合拉力时发现,键 mil(3.125×10。3 合良好断裂点均在跟键(heel)处,采取补强的方式使1.25 cm)细Al丝超声键 8 合后的键合强度均值可以达到0.156N。分析了以上实验现象产生的原因,探讨了键合强度形 成的机理。 关键词:超声引线键合;平整度;细铝丝;键合强度 中图分类号:TN305.96文献标识码:A Effectof SurfaceSmoothnessonThinAlWire Substrate WedgeBondingStrength XiJianfei,ZhangFanghui Electrical and (Collegeof Information西铆船e咖,ShanxiUniversityofsc如,黜Technology, Xi’an 710021,China) testwas forthe ofthedestructivedoublebondtest Abstract:Destructivebond single adopted imprecision of andtheshear testcannotestimatethewholecharacteristicthebond.10 of strength groupsexperimental resultswere withdifferentsubstrateSUrfSCesmoothnesswhileotherfactorswereomitted.The compared results surface showthatthe the smoothnessofthe thebond experimental higher substrate,thebigger strength andthe thebond thatthethicknessandareaofatomicdiffusionisnot in higher stability.Besides largeenough the betweenA1 isfoundthatallthe occurattheheelwhenthe

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