汽车电气系统mems传感器可靠性设计研究 the research on reliability of mems sensors used in automotive electric systems.pdfVIP

嘭芝勇‘铂2007年第26卷第8期 汽车电气系统MEMS传感器可靠性设计研究 吕 良1，2 邓中亮1 刘玉德2 100876 (1．北京邮电大学自动化学院 2．北京工商大学机械自动化学院 100037) 摘 要 随着汽车传感器的迅速发展和MEMS(微机电系统)技术的深入研究，基于 MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。分析了汽车电气系统中MEMS传感器的可靠性 设计研究应用现状及问题，提出了基于阶段主导可靠性因素的MEMS汽车传感器可靠性设计方 法；对汽车应用环境下的失效模式、失效机理进行了讨论；并对如何对MEMS传感器系统寿命 分布模型进行定量描述做了初步探讨。最后对MEMS汽车传感器可靠性今后的发展研究进行了 探讨。 关键词 汽车传感器 MEMS技术可靠性 的生命安全依赖于汽车转向系统、刹车系统及安全 1 引言 气囊的正确动作。因此，微型传感器必须保证可靠 未来的汽车用传感器技术，总的发展趋势是微 工作15年甚至20年；另一方面，对于相应的电子 型化、功能化、集成化和智能化…。微机电系统 控制单元而言，微传感器也是必备的。微传感器在 (MEMS)是一种多学科交叉技术，MEMS技术与汽车的整个寿命阶段都需工作在恶劣的环境下，这 智能化、集成化三者有着密切的联系，可以看成一 些传感器在车厢中需承受一40—85℃的工作温度， 个有机的整体。MEMS技术是微型化、集成化的在引擎舱中将达到125℃，如果装配在引擎上，则 基础，在传感器微型化和高度集成下，传感器可以 需承受140℃的高温。在电池与传动系统中，温度 具有诸多的信息检测与控制功能，从而实现了智能 最低可达一60℃。传感器除了在高温和低温环境下 化[2，3J。MEMS技术已在传感器领域得到了一些应长期工作外，它们还需承受冲击条件下的热循环和 用，例如MEMS加速度计、MEMS压力传感器 等。MEMS传感器是利用微电子机械加工技术将汽车传感器的可靠性渐渐成为微系统技术工程与研 微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封 究的焦点，可靠性是MEMS的设计与制造需要考 装在一块芯片上，它具有体积小、价格便宜、可靠 虑的关键因素，高可靠性的MEMS传感器对于汽 性高、工作寿命可达到106h等特点，并且可以明车人员安全与资源节约和环境保护作用巨大。可靠 显提高系统测试准确度，可以说，以MEMS技术性是指在规定时间与条件下，一种设备各方面性能 为基础的微型化、多功能化、集成化和智能化的传 应满足一定的要求。虽然，在产品推向市场时，对 感器将逐步取代传统的传感器，成为汽车传感器的 产品质量的主要要求是按客户的需求使产品具有高 主流[41。 的生产率且功能完备，但是，可靠性才是产品质量 在现代汽车中，微传感器在车辆的整个电气控 的重点。MEMS汽车传感器的可靠性问题非常复 制系统中所起的作用是不可替代的，而且变得越来 杂，涉及机械学、制造科学、微电子学、传感技 越重要【5J。一方面，微传感器在车辆的引擎管理、 术、信息技术、失效物理学、数理统计概率论、材 底盘系统、安全系统中具有复杂的功能，同时，为 料科学、力学等多学科、多领域。可靠性是一个质 乘坐人员提供了舒适与便利。微传感器系统在汽车 量指标，具有综合性、时间性和统计性。MEMS 工业应用中建立起了独特的安全特性。乘客与行人 可靠性的研究必须联系相关学科群，采用综合分析