基于螺旋理论的转动解耦调平机构型综合-中国机械工程.PDF

基于螺旋理论的转动解耦调平机构型综合———蔡伟林 熊 涛 尹周平 暋 暋 暋 基于螺旋理论的转动解耦调平机构型综合 蔡伟林 熊 涛 尹周平 暋 暋 暋 , , 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室 武汉 430074 : 。 摘要 芯片与基板之间的平行度调节机构对倒装键合设备的成品率起着决定性作用 为研制该调 , , 平机构 基于螺旋理论分析了二自由度转动解耦机构的实现条件 综合出了一类含有 支链的转动解耦 3 。