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2017-08-16 发布于天津
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2采购标的规范及数量

國家奈米元件實驗室銥(Ir)靶材招標規範書目錄頁次一、說明 3 二、採購標的規範及數量 3 三、未來擴充情形 3 四、履約期限 3 五、驗收標準 3 六、其他 4 說明本規範適用於sputter機台(型號:英國Ion Tech Microvac 450CB)所用之4吋靶材，其他詳如章節詳細規定；本規範如有任何疑慮依業主解釋為準。 2.1 純銥，純度99.9%。直徑4吋之圓形靶材，厚度2 mm，靶材背板靶材背板，由得標廠商作靶之bonding。純度98年11月30日前全部完成。驗收標準依據本規範書所載明之第二項(採購標的規範及數量)規格進行驗收。靶材送至本實驗室時請附上靶材成份(純度)報告。靶材背板不得有損傷、刮痕。其他保固年限：自產品驗收合格後一年。上述靶材報價含Bonding Charge (Bonding 之背板由廠商提供)及相關運費、處理費(含製作新背板與寄回製造廠Bonding及靶材運至NDL之運費)。國家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 請購編號：頁數 PAGE: 4 OF 4 購案名稱：本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES.