梯度功能压电陶瓷微夹钳的设计和操作原理.pdfVIP

第 卷第 期 上 海 交 通 大 学 学 报 ! # 3678!*68# 年 月 $%%$ # ’()*+,’-./+*0/+11+’2’*0 (*134).125 9:;8$%%$ 4444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444 文章编号=%%$FA@$%%$C%#%$%%F 梯度功能压电陶瓷微夹钳的设计和操作原理 陈海 = 孟中岩$ 曹长江! 张 琛! G G G 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海 @=8 G $%%%!%D 上海大学材料科学与工程学院 上海 上海交通大学信息存储研究中心 $8 G $%=B%%D!8 C 摘 要 利用梯度功能压电执行器设计和制作了双悬臂梁结构的微夹钳 用作微型机器人操作系 G 统的操作手 该微夹钳整体尺寸为 质量为 建立了梯度功能压电陶 8 =# I$ I$ G =$% 8 HH HH HH HJ 瓷悬臂梁的双层复合梁模型 从该模型和压电本构方程出发 分析梯度功能压电陶瓷微夹钳的操作 G G 原理 理论推导了该悬臂梁的微位移特性 由微夹钳的双悬臂梁结构 得到微夹钳的顶端张开量 实 8 G G 8 际测量了梯度功能压电微夹钳的顶端张开量 其实际值与理论推导值有较好的一致性 G 8 关键词 微机电系统 微夹钳 梯度功能材料 压电执行器 微型机器人 D D D D 中图分类号 !%#8= 文献标识码 2* + KLMNOPQPRSTLUQVNWPQXYUNPZNTXLW[Q\]PZVNWPQXX^_UQRNLPV YNL‘WLXLZVUNZaLUQbNZcNZUWOUNTTLU = $ ! ! G G G defg ehijhk lfgmnopkqjhk drsdohkqtihkq nergmdouk @=8 8 G 8G $%%%!%G D .v:vwxw;,:y 6z9wv:79:v{|}E6H~6!|vw! .:#J:||:6v6#J(#|$ .:#J:| E|#: $8 8G 8G $%=B%%D