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α 犆∶犎膜化学结构对光学性能的影响 - 强激光与粒子束
第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
21 3 Vol.21 No.3
年 月 ,
2009 3 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Mar. 2009
文章编号: ( )
10014322200903035005
α犆∶犎膜化学结构对光学性能的影响
,
12 2 2 2 2 3
刘兴华 , 吴卫东 , 何智兵 , 张宝玲 , 王红斌 , 蔡从中
( 重庆大学 输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室,重庆 ;
1. 400044
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川 绵阳 ; 重庆大学 数理学院,重庆 )
2. 621900 3. 400044
摘 要: 选用体积分数为 的 及反式 丁烯( )为工作气体,利用低压等离子体增强化
99.9999% H 2 TB
2 2
学气相沉积法制备了 薄膜。利用傅里叶变换红外光谱仪和 射线光电子能谱对薄膜化学键和电子结
C∶H X
α
3 2 3
构进行分析,并结合高斯分峰拟合分析了薄膜中 / 杂化键比值和 杂化键分数。结果表明:薄膜中
s s s C
p p p
3 3 2
氢含量较高,主要以 — 形式存在;工作气压越高,制备的薄膜中 键含量越少,薄膜中 / 杂化
s C H C=C s s
p p p
键比值和 3 杂化键分数增加,薄膜稳定性提高。应用 光谱仪,获得了波长在 范围
s C UVVIS
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