全固态高效率射频电源 high efficiency of solid state rf generator.pdfVIP

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2017-08-17 发布于上海
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全固态高效率射频电源 high efficiency of solid state rf generator.pdf

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全固态高效率射频电源 high efficiency of solid state rf generator

集成电路设计与应用 IC and DesignApplication 1．04．008 DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．201 全固态高效率射频电源秦威1’2，李勇滔1，李超波1，夏洋1，李英杰1，赵章琰1，许晓平2 (1．中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室，北京100029； 2．昆明理工大学信息工程与自动化学院昆明650000) 摘要：射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件，其性能的好坏直接关系到整个设备的性能。固态射频电源采用E类MOSFET功率放大器，通过适当的阻抗匹配网络，最终的射频电源在500W的额定功率下，功率转换效率可以达到84％，微电子设备真空腔室内的等离子体启辉时，其阻抗变化范围很大且速度很快。目前匹配速度最快的MKS的自动匹配器(在允许匹配范围内匹配到50Q时用时3—5S)也很难实时跟上，所以固态射频电源必 W功须能够承受500W功率的反射至少3—5s。经过实验后，本固态射频电源完全可以承受500 率的全反射30s左右。关键词：固态射频电源；E类；阻抗匹配网络；等离子体；全反射中图分类号：TN86文献标识码：A ofSolidStateRFGenerator HighEfficiency Weil”，Li Chaob01，Xia Qin Yongta01，Li Yang。， LiYingjie‘，ZhaoZhangyanl，Xu Xiaopin92 Microelectronics (1．KeyLabaratoryof DevicesIntegratedTechnology，lmtituteofMicroelectronics，ChineseAcademy of 100029。China；2．InformationEngineering＆AutomationCollege，KunmingUniversity Sciences，Beqing Scienceand of Technology。Kunming650000，China) Abstract：The ofRF isthecore ofmicro—electronic performancegenerator，whichcomponent suchas and a influenceonthe equipmentetchingmachine，sputteringequipmentPECVD，hasgreat whole conversion of+solidstateRF that class—E equipmentperformance．Powerefficiency generatoradopts MOSFET and networkscanreach84％