原位法制备通孔aao模板的原理和工艺 principle and process of fabrication for holing-through aao templates in situ.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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原位法制备通孔aao模板的原理和工艺 principle and process of fabrication for holing-through aao templates in situ.pdf

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原位法制备通孔aao模板的原理和工艺 principle and process of fabrication for holing-through aao templates in situ

工艺技术与材料 doi：10．3969／j．issn．1003-353x．2010．09．009 原位法制备通孔AAO模板的原理和工艺秦刚，何凤英，郭光华 (中南大学物理科学与技术学院，长沙410083) 摘要：AAO模板是制备纳米材料常用的模板，然而由于阻挡层的存在，制约了其在很多方面的应用。介绍了在不剥离基体的前提下，采用阶梯降压法和反向电压法在原位除去阻挡层，制备通孔的模板。利用场发射扫描电镜对其形貌进行了表征，分析了这两种方法在原位去除阻挡层的原理，讨论了其工艺条件对制备通孔模板的影响，并对其结果进行了比较。结果表明：阶梯降压法能有效减薄阻挡层厚度，通过后续磷酸浸泡能达到在原位除去阻挡层的目的，但是底部孔道出现分叉现象；而反向降压法能在原位有效除去阻挡层，且不破坏模板。关键词：通孔AAO模板；阶梯降压法；反向电压法；原位中图分类号：TN304；TN305文献标识码：A 文章编号：I(1Y3．353X(2010)09．0889-05 and for ProcessofFabrication Principle Holing-Through AAO inSitu Templates QinGang，HeFengying，GuoGuanghua (School Scienceand South 410083，China) ofPhysics Technology，CentralUmversity，Changsha areoften infabricationof forthebarrier Abstract：AAO used nanomaterials，but templates layers， their arerestrictedin fields．Itis thatthebarrier wereremovedthe applications many investigated layers by decrementandthemversed in the were situ，and step-by—stepvoltage voltage holing·throughedtemplates obtained．The werecharacterizedfieldemission electron morphologies by scanning microscope，theprinciple ofthesetwomethodsin thebarrier insituwas influencesand addition，the removing layer analysed．In resultsofconditionsonfabricationof AAO werediscussed．Theresultsshowthatthe holing·throughtemp