用于产生等离子体的高压脉冲电源的研制 development of a pulse generator for exciting plasma.pdfVIP

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2017-08-17 发布于上海
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用于产生等离子体的高压脉冲电源的研制 development of a pulse generator for exciting plasma

第33 卷第2 期高电压技术 Vol. 33 No. 2 ·28 · 2007 年 2 月 High Voltage Engineering Feb. 2007 用于产生等离子体的高压脉冲电源的研制! 1 1 1 1 2 朱志杰，张贵新，刘亮，罗承沐，刘敏传（1. 清华大学电机与应用电子技术系，北京100084 ；2. 北京四方继保自动化股份有限公司，北京100085 ）摘要：为给高压脉冲装置提供脉冲电压使其在低气压下激发出低温等离子体，研制了一台等离子体的高压脉冲电源。介绍了该套高压脉冲电源装置的构成原理、工作性能后，分析了实验的实际脉冲电压波形与仿真波形，发现二者比较接近，证明利用Simulink 可模拟仿真气隙放电，采用此种碳刷型旋转开关，并适当改善定转子尺寸及倍率 D 可以得到频率从0 ~ 800HZ ，幅值为1 20kV 的高压脉冲电压。 T 关键词：研制；高压脉冲电源；碳刷型旋转开关；等离子体；建模仿真中图分类号： 0531；TM832 文献标识码：A 文章编号：1003-6520 （2007 ）02-0028-04 Development of a Pulse Generator for Exciting Plasma ZHU Zhijie1 ，ZHANG Guixin1 ，LIU Liang1 ，LU0 Chengmu1 ，LIU Minchuan2 （1. Department of Electrical Engineering and Applied Electronic Technology ，Tsinghua University ， Beijing 100084 ，China ；2 . Beijing Sifang Automation Co. ，Ltd ，Beijing 100085 ，China ） Abstract ：A plasma reactor is designed and plasma is excited by a low freguency high-voltage pulse generator ，its repetitive rate of the pulse is in the range from 0HZ to 800HZ and the amplitude is up to 20kV. The generator consists of one storage capacitor ，one AC power supply ，silicon stack ，resistance networks ，high voltage divider and a motor-controlled carbon brush switching. The freguency of the high-voltage pulse can be adjusted by altering the speed of motor ，and its duty cycle can also be adjusted by adding the rotor radius of the brush switching or reducing the number of carbon brushes included in brush switching. The authors present the structure of this low freguency high-voltage pulse generator designed in our