圆盘型非接触超声波马达定子的有限元分析 finite element analysis of disc-type non-contact ultrasonic motor.pdfVIP

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2017-08-17 发布于上海
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圆盘型非接触超声波马达定子的有限元分析 finite element analysis of disc-type non-contact ultrasonic motor.pdf

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圆盘型非接触超声波马达定子的有限元分析 finite element analysis of disc-type non-contact ultrasonic motor

微电机2006年第39卷第1期(总第148期) 圆盘型非接触超声波马达定子的有限元分析杨斌，刘景全，周广华，陈迪，方华斌，蔡炳初 (上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术重点实验室，上海 200030) 摘要：阐述一种圆盘型非接触超声波马达的结构。利用振动理论和有限元法分析计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率。并讨论了定子的内、外径比和厚度对其影响。结果两者吻合较好。由于振幅和非接触马达的运行密切相关，因此利用有限元计算了定子的振动幅度与定子的内、外径比、厚度和定子所加电压的关系，从而为马达定子的设计和优化提供了理论依据。关键词：超声波电机；有限元分析；振动模态；固有频率；振幅中图分类号：TM359．9文献标识码：A 文章编号：100l一6848(2006)01一0042一03 FiniteElement of Non—contactUltrasonicMOtor AnalysisDisc—type YANGBin，LIU Guang-hua Jing—quan，ZHOU 200030，China) (ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai The ofthe non—contactultrasonicmotorwas inthis ABSTRACT； disc—type analyzed paper． configuration modewascalculatedfiniteeIementmethod。andtheresults Natural ofthevibration werecoincident frequency by withtheresultsofthevibration vibrational was correlatedwith ofthe theory．BecauseampIitudetightly operating relevantfactorswere theratioofinnerandouterradius口 non．contactUltrasonicmotor，the discussed，incIuding thetheoreticbaseforthemotor’s and thicknessand ofthestator．Such voltage gives designoptimization． KEY mode；Natural WoRDS：U1trasonicmotor；FEA；Vibrationfrequency；VibrationaIamplitude 材料采用压电陶瓷PZT一4，其两面采用溅射工艺， O 引言溅射金属银，上面电极作为地极，下面电极光刻出如超声波马达根据定、转子的接触状态分为接触图2所示的4n个分区电极(其中n为模