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真空泵的一些计算公式1、玻义尔定律 体积V，压强P，P·V＝常数 一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。 即P1/P2＝V2/V1 2、盖·吕萨克定律 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比： V1/V2＝T1/T2＝常数 当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。 3、查理定律 当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，即： P1/P2＝T1/T2 在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。 4、平均自由程： λ＝(5×10-3)/P (cm) 5、抽速： S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P* y m A. U5 U) V. v# |Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托)　　V＝体积(升) t＝时间(秒)% R) T+ {5 |3 u6 _9 x 6、通导： C＝Q/(P2-P1) (升/秒) 7、真空抽气时间： 对于从大气压到1托抽气时间计算式：5 Z% u/ r$ A% P3 _, {t＝8V/S (经验公式)1 S) J( k! D% OV为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。 8、维持泵选择： S维＝S前/10# b t! k??N; U7 r; R: S 9、扩散泵抽速估算： S＝3D2 (D＝直径cm）! a5 I E) G! M9 T 10、罗茨泵的前级抽速： S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)* T; k2 Z H6 T: }3 F: \; G??P 11、漏率： Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)$ | i9 x( F ~??]8 K% DQ漏－系统漏率(mmHg·l/s) V M- G( k4 iV－系统容积(l)% G* [ p8 \, {7 g: LP1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)* ]% b??i( N+ E9 JP2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg). D4 z6 g5 t6 R7 z, G5 E p( Z f: L }t－压强从P1升到P2经过的时间(s)4 L N/ h9 p6 d* n# x% [ 12、粗抽泵的抽速选择： S＝Q1/P预 (l/s) M8 h2 S7 `9 H. ], M) TS=2.3V·lg(Pa/P预)/t% H* H! a w2 l0 o5 H) aS－机械泵有效抽速+ A1 ]9 H$ ]1 `; J5 CQ1－真空系统漏气率(托·升/秒)9 _% R2 \2 P6 M) S/ ]??\; Z UP预－需要达到的预真空度(托): m) K??[9 a4 a6 q4 L7 Z+ l, lV－真空系统容积(升). O1 d9 [! x9 Vt－达到P预时所需要的时间+ W??q4 Y: i; f) |* MPa－大气压值(托）+ d( B {2 L??u 13、前级泵抽速选择： 排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有： PnSg≥PgS 或; ~2 l Z8 ^+ JSg≥Pgs/Pn2 w! X f: n* K) l } m+ cSg－前级泵的有效抽速(l/s)% ]- Z7 W9 d, ~5 T, j; R( uPn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) J2 z??R8 w, t7 H. ?4 b) b5 M( k ]0 k3 M MPg－真空室最高工作压强(托)1 h2 l: ?- S* o3 US－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)* U8 Z+ C9 f G2 t \. E4 y: m 14、扩散泵抽速计算公式： S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)2 i; C; w9 ~. Q3 M! d6 b6 Z) x# K式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)8 Q- x+ F2 q- w, \( M1 Cn－滴管内油柱上升格数(格): ~??l* l6 S Z2 f6 H C+ tt－油柱上升n格所需要的时间(秒) q# l- h @4 V! P j( Z- SP－在泵口附近测得的压强(托)% A! h# X* Y8 L( QK－滴管系数(托·升/秒)% r# U- ?0 G$ dK＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt [??V) B2 b$ d其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升)$ D1 U U* W% c; ^: I# zL－滴管刻度部分的长度(mm)% s% z2 y5 C: E