第10章 紫外探测.ppt

10.1.2 大气对紫外光的吸收 1.O3的吸收 O3是地球大气中有效吸收紫外辐射最重要的气体 波长从220-320nm,引起近地面太阳光谱的波长小于290nm处中断。 2.氧气的吸收 氧气的吸收主要有两个光谱带，分别为175－202.6nm和242－260nm，氧气的吸收效应同其他的衰减效应相比已不明显，并且随着高度的增加而减小。 3.瑞利散射 在低空中分子数密度很高，中紫外的瑞利散射很明显，当高度增加时，分子数密度减小，这时，瑞利散射减弱。 4. 溶胶的吸收与散射 指大小为10nm的烟雾粒子－10um的大雨滴等粒子的散射。 10.1.3 紫外辐射源 1 太阳辐射 太阳辐射光谱范围从远紫外至远红外，并且能直接或者间接的造成背景辐射，形成严重的背景干扰，对红外辐射探测可产生虚警。对200－290nm的紫外探测来说，由于臭氧的吸收，到达不了地面，称为日盲区。 2 日辉与夜辉 他们的波长在200-300nm，是中紫外探测的主要的背景源。 军用领域：导弹发射的探测。各种导弹装备都需要燃料,必有尾焰排出,尾焰中含有近紫外与中红外辐射,紫外光探测利用其特点及时发现目标. 民用领域： 火焰的探测和监控,UVA和 UVB区域的放射计量测定器、 飞行员的降落侍服系统等。 利用中紫外进行导弹探测的优点: 1.紫外探测技术是导弹的克星,是低空防御的必备装置,也是快速处理信号的先进技术. 2.在紫外区,空间造成的紫外背景辐射较少,同时也避开了最大的自然光源,信号探测难度下降,虚警率减少,探测概率提高. 3.用紫外探测系统结构简单,无需制冷,不扫描,质量轻,体积小. 10.3 紫外像增强器:要求:1 高灵敏度,低噪声,有探测微弱信号的能力. 2 对穿过大气层的太阳紫外光不灵敏. 2 紫外光电阴极 2 紫外光电阴极 碲化銫光电阴极的特点：正电子亲和势光电阴极，其禁带宽度为3.3eV，要实现光电发射，入射能量要大于3.5eV,为了防止光电子与价键上的电子发生碰撞而发生二次电离，一个较大的禁带宽度是必要的。 (1)电阻大，在进行阴极制作时，很难检测到光电流。 (2)饱和蒸气压很高，系统在常规的烧烤中会出现挥发现象 (3)大规模的碲化銫光电阴极的制作工艺难度大。 碲化銫光电阴极由三层构成，第一层为石英玻璃，第二层为导电膜，第三层为光电发射层。其中，第一、二层要求紫外光的吸收率要小，制作第三层时，碲与銫的混合比例2：1是，一般先蒸镀一层Te膜，然后在激活温度下缓慢銫化，直到监控到的光电流具有最大值。 10.4 GaN的性质 与成熟的半导体Si相比，GaN具有耐高温、低介电常数、耐腐蚀、抗辐射等优良特点，而且3.4-6.2的直接带隙宽度，因此最适合制作紫外探测器。 可以制作成光电导型、肖特基型光生伏特型、PN、PIN、MSM 型紫外光电探测器。 基本原理是光照射pn 结时，电子空穴对被内建电场分离，形成与入射光功率大小相关的光生电动势。当pn结短路时，产生光电流. 原理图如下: （前注入） 为了保持晶格常数的匹配，获得高质量的晶体，选用与GaN晶格常数相同的几种合金来设计PIN探测器。四元合金AIXlnyGazN 选择衬底方面主要是利用蓝宝石，这是使用最广泛的一种衬底材料，其他的材料还主要有碳化硅，氧化物材料等。 光从P型层入射，调整厚度可以使光在P型层或者P 与I完全吸收，达到最好的光电响应效果。探测波长为280nm ～320nm 为了提高响应速度，尽量使光在耗尽层被吸收，P层的厚度要较小，由于I层的存在，使耗尽层加宽，降低了结 电容，有较小的时间常数，可达12ns。 光谱响应来计算探测器的厚度参数 计算模型：pin 表示入射光的功率，a表示吸收系数，A表示光敏面积，r表示表面反射率 wP wi wn 金属-半导体-金属紫外探测器 MSM紫外探测器制造简单，易于集成，主要结构如图10-18，在蓝宝石衬底上生长AlN缓冲层，再沉积上一层半导体激活层GaN，在激活层上沉积栅状电极，形成肖特基接触。 MSM光电探测器本质上是 一个背对背串连的两支金属 -半导体二极管，当外加偏置 电压时，一个结为正偏， 一个结为反偏。 MSM的工作原理： 外偏电压为0时，耗尽层宽度两边相等