3.蓝宝石衬底片翘曲度检测方法.docVIP

目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 方法概述 1 5 测试方法 1 6 样品 3 7 测量步骤 3 8 报告 4 9 精密度 5  本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准主要起草人：魏明德、刘逸枫、黄朝辉。 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 范围 本标准定性的提供了测量蓝宝石切割片、研磨片、抛光片(以下简称蓝宝石衬底片)翘曲度的测试方法。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注明年代的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T 12964 硅单晶抛光片 GB/T 12965 硅单晶切割片和研磨片 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测量方法 术语和定义 GB/T14264《半导体材料术语》中确立的术语和定义适用于本标准。 自由无夹持晶片中面与中面平面的中面平面是由小于晶片称直径。 与晶片的正表面和背表面等距离点的轨迹。 方法概述 将蓝宝石衬底片置放在基准平台的三个支点上，三个点形成一个基准平面，利用低压力位移指示器或非接触式位移传感器测量蓝宝石衬底片偏离基准平面的距离，记录成对位移指示器的读数并求其差值，针对一系列成对数值的差值取其最大值与最小值的差值除以2，该得值即表示衬底片的翘曲度。 测试方法 接触式测量仪器 由带有指示仪表的量具及可支持衬底的夹具或平台组成。 5.1.1 基准环 基准环是由基座、3个支撑球、3个定位柱组成的专用器具。 基座是由温度系数小于6×10－6/oC的金属材料制成，基座外径比被测直径大50.8mm左右，基座厚度大于19mm。基座底面应光滑，平整度应小于0.25μm。 .1.2 3个支撑球由碳化钨或其它硬质合金制成，等间距分别置于基座一定的圆周上，该圆周直径小于标称直径6.35mm±0.13mm。高度误差小于1.0μm，表面光滑，粗糙度应小于0.25μm。 .1.3 3个定位柱由硬质塑料制成，位于3个支撑球对应的位置上，用以保证被测中心与3个支点的几何中心相重合，偏差小于1.0mm。定位柱对不能有任何作用力。 .1.2 位移指示器 .1.2.1 位移指示器应能上、下垂直调节，并指示出中心点与基准面之间的距离。 .1.2.2 指示器指针应处于基准环中心，移动方向垂直于基准平面，偏差小于1o。 .1.2.3 指针头部呈半球状，球体半径在1.0mm～2.0mm之间。 指针头部对被测片的压力应不大于0.3N。 位移指示器分辨率为1μm。 读取位移数值的电动仪表，显示有效数字3位以上，单位为μm。 由一个可移动的基准平台具三个半球形的支撑柱，具有指示器的固定探头装置，定位器等所组成。 5.2.1 基准环 基准环是由基座、3个支撑球、3个定位柱组成的专用器具。 基座是由温度系数小于6×10-6/oC的金属材料制成，基座外径比被测直径大50.8mm左右，基座厚度大于19mm。基座底面应光滑，平整度应小于0.25μm。 3个支撑球由碳化钨或其它硬质合金制成，等间距分于圆周上，圆周直径小于称直径6.35 mm±0.13mm。高度误差小于1.0μm，表面光滑，粗糙度应小于0.25μm。 3个定位柱由硬质塑料制成，位于3个支撑球对应的位置上，用以保证被测中心与3个支点的几何中心相重合，偏差小于1.0m。定位柱对不能有任何作用力。 测量仪由测量探头 (非接触式探头或激光式探头)、显示器、花岗岩平台三部分组成。 5.2.2.1 非接触式测量探头是一对无接触位移传感器，上、下探头处在同一轴线上，能够上、下垂直调节。轴线与基准平面的法线之间的夹角应小于2o，每只探头能独立地测量与最近表面的距离，探头分辨率优于0.25μm。 激光式测量探头是一对405nm激光器和一对集束器组成，激光器一个轴向一个径向，并与晶片呈60度的入射角发射激光。 5.2.2.4 花岗岩平台是一块结构细密、表面光滑的石板，面积大于305mm×355mm。测量区表面平整度小于0.25μm，并装有限制基准环移动范围的限位器。 测量仪应备有的附件，用以校正测量仪。 样品 按照GB/T2828.1的规定进行，检查水平由供需双方协商确定。需方对抽样有特殊要求时由供需双方协商解决。 衬底片应具有清洁、干燥的表面，如果待测片不具备参考面，应在衬底片背面边缘处作出测量定位标记。 测量步骤 7.1 测量环境条件 7.1.1 温度：20 ~ 25℃ 7.1