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LCD 工艺生产介绍及罗升横河DD 马达在LCD 玻璃划片机的应用 津罗升企业有限公司 伺服产品处 赵琦 摘要：本文介绍了LCD 生产工艺流程、玻璃划片机的构架，技术特点，以及罗升横河DD 马达的结构特点、适合LCD 玻璃激光划片机应用。展望了LCD 设备在国内的发展方向。 关键字：罗升横河DD 马达、高精度、高刚性、划片机、LCD Introduction of LCD Machine Technique and Application of Yokogawa DD Motor on LCD Dicing Machine Abstract : The technique of LCD machine and the characteristics of LCD dicing machine is introduced. The technique point of Yokogawa DD motor is introduced adapting the application of the LCD dicing machine. The future and the developing way of LCD machine of China is expected. Keyword : DD motor、high accuracy、high stiffness、dicing machine、LCD 1 LCD 生产线工艺、设备介绍 LCD 为英文Liquid Crystal Display 的缩写，即液晶显示器，是一种数字显示技术，可 以通过液晶和彩色过滤器过滤光源，在平面面板上产生图象。 当前LCD 液晶显示器正处于发 展的鼎盛时代，技术发展非常迅速，已由最初的TN－LCD （扭曲向列相），发展到STN－LCD （超 扭曲向列相），再到当前的 TFT－LCD （薄膜晶体管）。LCD 现已发展成为技术密集、资金密集 型的高新技术产业。液晶显示器主要由ITO 导电玻璃、液晶、偏光片、封接材料 （边框胶）、 导电胶、取向层、衬垫料等组成。液晶显示器制造工艺流程就是这些材料的加工和组合过程。 液晶显示器的制造是在洁净室环境下进行的，在工艺上可以大体分成清洗与干燥、光刻、 取向排列、制盒、切割、灌注液晶、目测、电测、贴片、上引线、包装等工序。 （1）清洗与干燥工艺 清洗是 清除吸附在玻璃表面的各种有害杂质或油污的工艺。清洗方法是利用各种化学 试剂和有机溶剂与吸附在玻璃表面上的杂质及油污发生化学反应和溶解作用，或伴以超生、 加热、抽真空等物理措施，使杂质从玻璃表面脱附(或称解吸)，然后用大量的高纯热、冷去 离子水清洗，从而获得洁净的玻璃表面。经过清洗的玻璃需要经过干燥处理，主要方法有烘 干法、甩干法、有机溶剂脱水法和风刀吹干法等。该工艺主要用到的设备有超声波清洗机、 等离子清洗机及干燥炉的干燥设备。 （2）光刻工艺 光刻的目的是按照产品设计要求，在导电玻璃上涂敷感光胶，并进行曝光，然后利用 光刻胶的保护作用，对 ITO 导电层进行选择性化学腐蚀，从而在 ITO 导电玻璃上得到与掩模 版完全对应的图形。光刻工艺流程为：涂光刻胶——前烘——显影——坚膜——刻蚀——剥 离去膜——水洗光刻工艺主要用到的设备有涂布机曝光机等 （3）取向排列工艺 此步工艺为在蚀刻完成的ITO 玻璃表面涂覆取向层，并用特定的方法对限向层进行处理， 以使液晶分子能够在取向层表面沿特定的方向取向 （排列），此步骤是液晶显示器生产的特 有技术。取向排列工艺主要用到的设备