机械工程测试技术基础 第七讲电容式传感器.ppt

作业 P286 T4-19 T4-20 电容值总的变化量为 ΔC= C1-C2=C0 电容值相对变化量为 如果只考虑线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 电容传感器做成差动式之后, 灵敏度提高一倍, 而且非线性误差大大降低了。 电容式传感器 电容传感器特点及应用 特点： 分辨力极高（电容值10-7，相对值100%~200%，位移0.01μm） 动极板质量小，惯性小，其固有频率很高，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强，能够承受高压力、高冲击、过载等情况。 缺点： 非线性； 差动结构 寄生电容影响大。 双层屏蔽电缆，小型集成电路 电容式传感器可用来测量直线位移、角位移、振动振幅，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量。 变极距型的适用于较小位移的测量，量程在0.01m至数百微米、精度可达0.01m 、分辨率可达0.001m。 变面积型的能测量量程为零点几毫米至数百毫米之间、线性优于0.5%、分辨率为0.01～较大的位移，0.001m 电容式角度和角位移传感器的动态范围为 0.1″至几十度，分辨率约0.1″，零位稳定性可达角秒级，广泛用于精密测角，如用于高精度陀螺和摆式加速度计。 电容式测振幅传感器可测峰值为0～50m、频率为10～2kHz，灵敏度高于0.01m ，非线性误差小于0.05m。 电容式位移传感器 差动式电容测厚传感器 电容式压力传感器 电容式加速度传感器 电容式料位传感器 电容式振动传感器 湿度测量 电容式键盘 电容传声器 …… 1-测杆： 2-片簧： 3-定极板； 4-动极板： a) 电容式位移传感器： 差动结构： 电容式传感器应用 一般变极板间距离电容式传感器 起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广 原理：变介质型 变极距型； b) 电容式厚度传感器： 特点：非接触式测量 应用：纸张、绝缘薄膜等 电容式传感器应用 c) 电容式压力传感器： 电容式传感器应用 d) 电容式加速度传感器： 电容式传感器应用 e)电容式料位传感器 电容式液位传感器（液位计/料位计） 电容式传感器应用 湖北工业大学机械学院 第四讲 传感器测量原理 电容式传感器 变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: + + + ? A ? 上式中，哪几个参量是变量？可以做成哪几种类型的电容传感器？ 电容式传感器 a)极距δ变化型 + + + + + + 电容式传感器 当极板距离减小 ，电容量为 电容增量 当 时， 一般极板间距在25～200um范围内，而最大位移应小于间距的十分之一，因此这种电容式传感器主要用于微位移测量。 当 时，略去非线性项，得 电容传感器的灵敏度为 差动式结构：提高灵敏度，降低非线性，改变零点附近的线性度 b)面积变化型 角位移型 + + + 电容式传感器 平面线位移型 电容式传感器 电容改变量与水平位移成线性关系 电容式传感器 圆柱体线位移传感器 RB RA l x 当x=0时，两筒完全覆盖 当动极移动x后，其电容 输入/输出具有线性特性！ c) 介质变化型 电容式传感器 介质变化型传感器大多用于测量电介质的厚度(图a)、位移(图b)、液位(图c)，还可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量改变而改变来测量温度、湿度、容量(图d)等。 电容式传感器 液位传感器 h C1 C C2 2r1 2r2 hx 若忽略边缘效应，圆筒式液位传感器如下图，传感器的电容量与被液位的关系为 电容式液位计具有 线性输出特性！ 厚度测量，温度、湿度测量 d δ 电容C与介质厚度、介电常数ε的关系是非线性的！ 3 测量电路 a)电桥电路 电容式传感器 电桥电路 1)阻容交流电桥 交流电桥的平衡条件 即 ——模平衡条件 ——相位平衡条件 G A D C B ～ 上式表明交流电桥有两个平衡条件，只有当两个平衡条件同时满足时，电桥才能达到平衡 。 纯电阻：电压电流同相， 。 纯电容：电压滞后电流 , . 由交流电知识有： 纯电感：电压超前电流 ,