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14 3 Vol. 14 No. 3
2006 6 Optics and Precision Engineering Jun. 2006
1004924X( 2006)
孙立宁, 马 立, 荣伟彬, 高 燕
( 哈尔滨工业大学机器人研究所, 黑龙江 哈尔滨 150001)
: , ,
x y x y
, :
, ,
, ,
: 柔性铰链; 纳米定位工作台; 有限元分析
:TH 703. 6 :A
Design and analysis on a 2DOF nanopositioning stage
SUN Lining, MA Li, RONG Weibin, GAO Yan
( R obot R esear ch I ns ti tute , H ar bi n I ns t it ute of T ec hnol og y , H ar bin 150001)
Abstract: A tw odegreeoffreedom ( 2DOF) flexure hinge guidedmotion nanopositioning stage w as
developed to align optical system, and the simplified modeling of the nanopositioning stage w as dis
cussed. T he x and y direction stiffness and tw o natural frequencies of the nanopositioning stage w ere
deduced in terms of the theory of structural mechanics. Theoretical analysis and Finite Element Anal
ysis( FEA) on static and dynamic behaviors of the nanopositioning stage w ere performed, the compar
ative results of the theory, FEA and experiments show the accuracy of theory model and the validity
of FEA. FEA also indicates that the stiffness, natural frequency and driving force w ill increase with
decreasing hinge length and increasing hinge w idth in despite of increasing the maximum stress of the
stage. The experimental results also show that dimension modification is available to controlling and
optimizing natural frequency, displacement, stresses, and force to achieve the desired response of the
nanopositioning system. Finally, a simple procedure to optimize dimensions of the nanopositioning
stage w as given.
Key words: flexure hinge; nanopositioning stage; Finite Element Analysis( FEA)
: :
: 63 ( No . 2002AA404550)
3 , :
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