.SQM-160用户守则.pdfVIP

SQM-160 速率/膜厚监测仪 用户手册 版号 4.09 安全信息 在安装, 运行或维修设备前请阅读本手册. 切勿安装替代件, 或对产品执行任何未授权的 修改. 将产品返回 INFICON 维修, 确保其安全特征的持久性. 安全符号 警告: 提醒注意可能引起人身伤害或死亡的程序, 实践, 或条件. 警示: 提醒注意可能引起设备损坏或数据永久丢失的程序, 实践, 或条件.. 在使用这个产品前参阅手册中的全部警告或警示信息, 以避免人身伤害或设备 损坏. 存在危险电压. 接地符号. 机箱接地符号. 等电位接地符号. 保用信息 如按本手册中的说明使用, 本 INFICON 产品对材料和工艺缺陷实行自发货日起两年的 保用期. 在保用期内, INFICON 将查验和决定检修或更换损坏的产品. 保用限制 除材料或工艺缺陷外, 由于误用或更改产品引起的损坏, 从而必须检修的产品不属于本 保用范围. 无其它保证, 表达或暗示, 包含为特殊目的适用或适销的隐含保证. 在任何 情况下, INFICON 对违反本有限保证导致的或接着发生的其它索赔无责. 目 录 第 1 章 快速开始 1.0 引言 1-1 1.1 安装 1-1 1.2 面板 1-2 1.3 后板1-3 1.4 系统连接 1-4 1.5 膜系设置 1-5 1.6 沉积膜系 1-6 第 2 章 操作 2.0 引言 2-1 2.1 菜单选择 2-1 2.2 膜系菜单 2-2 2.3 系统菜单 2-4 2.4 传感器选择 2-7 2.5 传感器频率 2-8 2.6 传感器系数 2-9 2.7 显示单元 2-10 2.8 晶体寿命 2-10 2.9 膜厚置零2-11 2.10 挡光器操作2-11 2.11 双传感器 2-12 2.12 速率取样2-13 2.13 定时设点2-14 2.14 膜厚设点 2-15 2.15 模拟模式2-16 2.16 继电器运行 2-16 2.17 模拟输出配置2-17 2.18 故障查找… 2-18 第 3 章 选项 3.0 机架安装 3-1 第 4 章 维护 4.0 引言 4-1 4.1 清洗 4-1 附录 A. 材料参数 B. 技术规范 C. I/O 连接件 D. 通讯 E. 符合标准的声明 第 1 章 快速开始 1.0 引言 祝贺您购买 SQM-160 沉积速率/膜厚监测仪. SQM-160 是易于使用的仪器, 用于测量许多 类型的薄膜镀层. 本章将帮助您快速上手和运行. 有关详细的操作, 编程和安全信息, 请 完整地阅读本手册. 1.1 安装 本节认为您已熟悉薄膜监测仪. 有关详细的系统安装连接信息见第 1.3 节和 1.4 节. 警告: 保持传感器, I/O, 和接线与危险电压间足够的绝缘和几何分隔间距. 机架 SQM-160 占 3.5” 高的半机架空间. 机架安装需用可选的半机架 安装 适配成套件 (900-014) 或全机架扩展成套件 (900-008). 将仪器 安装在带有相称硬件的 19” 机架内. 有关扩展件的组装说明见 第 3 章. 电源 警告: 证实提供的电源电缆妥善地连接在接地的电源插座上. 连接 传感器 将 BNC 电缆和振荡器从真空室馈入件连接至 SQM-160 传感 连接 器输入. 见第 1.4 节. 数字 I/O 有关将数字 I/O 连接SQM-160 继电器 I/O 连接件的接线, 参阅 连接 C