压电及弹性层厚度对弯曲元件特性影响的研究 influence of the thickness of piezoelectric and elastic layers on the bender element characteristic.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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压电及弹性层厚度对弯曲元件特性影响的研究 influence of the thickness of piezoelectric and elastic layers on the bender element characteristic.pdf

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压电及弹性层厚度对弯曲元件特性影响的研究 influence of the thickness of piezoelectric and elastic layers on the bender element characteristic

第32卷第3期兵器材料科学与工程 V01．32No．3 5月 AND 2009年 ORDNANCEMATERIALSClieNCEENGINEERINC May．2009 压电及弹性层厚度对弯曲元件特性影响的研究鄂世举，，杨志刚2，沈传亮2 (1．浙江师范大学．浙江金华321004；2．吉林大学，吉林长春13002s) 擒耍研制一种三叠片型压电双晶片驱动器，上下两层为压电陶瓷材料PZT-5H，中间弹性层为铍青铜。利用激光测试仪LC一2400A及LV-1610对压电弯曲元件的输出位移、位移滞环、婿变量及基频等特性进行实验测试。通过实验，确定压电弯曲元件的弹性层及压电晶片的厚度对其特性的影响，分析影响压电弯曲元件性能的因素。关键词压电弯曲元件；厚度；位移；蠕变量中图分类号TN384 文献标识码A 文章绩号1004-244X(2009)03-0001—04 Influenceofthethicknessof andelastic onthebender piezoelectriclayers dement characteristic E Zhigan92，SHENChuanlian92 Shijul，YANG Normal (1．ZhejiangUniversity，Jinhua321004，China；2JilinUniversity，Changchun130025，China) Ahsa瞅A bender strucnJ．rewasfabricated．PiezoelectricceramicsPZT-5Hwere piezoelectricwith缸i：layer used腿piezoelectric both asthe on Be—Cu elastic characteristicsof the hyers sides，and interlayer．1he piezoelectricbender，includingoutput andthebasic were laserdistance frequency displacement，thedisplacementhysteresisloop，creep investigatedby measuring instnunentLC-2400AandLV·1610．TherelationsbetweenthethjckIle驺of andelasticand piezoelectric itsstatic layers layer and characteristicswere dynamic analyzed． words bender Xey piezoelectricelement；thickness；displacement；en眈p 研制了一种3层结构的压电双晶片弯曲元件，工作在长度方向的伸展模式。压电双晶片弯曲元件是一种机电耦合系统，其静动态特性受结构尺寸、电气控制方式、材料及制作工艺等因素影响