微机械陀螺仪的微结构分析与设计.pdfVIP

第 卷第 期 仪 器 仪 表 学 报 年 月 ## 2 # 2# 微机械陀螺仪的微结构分析与设计! # 贾建援 王志荣 冯小平 西安电子科技大学机电工程学院 西安 # 西安电子科技大学电子工程学院 西安 $ %%’ $ %%’ 摘要 针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象 本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型 经对某 (