基于微元件键合图库的微机电系统动态建模与仿真.pdfVIP

第 卷 第 期 西 安 交 通 大 学 学 报 489:! ;# ! # ! ! ! ! ! ! ! ! ! 年 月 ! ’9:$%% $%% # ’()*+,-(./01,+’0,(2(+3 )+045*6027 基于微元件键合图库的微机电系统动态建模与仿真 刘 旸!江平宇!刘 峥 ! ! !西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安# #=%% 摘要为了更好地支持微机电系